1、把整臺泵從基座至檢修場地，拆裝、清洗真空泵應(yīng)在清潔的室內(nèi)進行。拆洗時.應(yīng)注意各部件、零件的原裝配位置、方向及組合松緊，并作好記錄或記號，以免裝錯；拆除靠背輪保護罩，復(fù)查泵的中心；

2、在取出旋片和轉(zhuǎn)子時，注意一定要用手捍緊旋片，因旋片受彈簧力較大，一不小心容易脫手飛出，碰傷旋片棱角及衷面而不能使用，松靠背輪連接螺栓，拆去靠背輪。

3、松泵進、出口管道法蘭螺栓，拆除進、出口管道；拆下的零部件應(yīng)分開，妥善處理，不可亂放亂堆，否則，容易互相碰傷或丟失，

工作完畢，切斷電爐電源，等爐溫降到一定溫度后，關(guān)閉擴散泵加熱電源。在抽預(yù)真空狀態(tài)下，等油增壓泵降油溫，然后關(guān)真空閥，關(guān)機械真空泵，后關(guān)冷卻水和總電源。工作結(jié)束后，應(yīng)及時填寫設(shè)備使用記錄及相關(guān)文件，整理及打掃工作現(xiàn)場，消滅事故隱患。

真空設(shè)備操作應(yīng)注意，擴散泵加熱時，主抽泵及前級閥需打開抽真空。主閥必須在前級閥打開后才能打開。主閥未關(guān)上時，爐體放氣閥不能打開。

真空設(shè)備的改造。為防比大量冷空氣進行擴散泵和增壓泵，可在抽高真空管道系統(tǒng)加裝一臺維持泵，實現(xiàn)真空閥與放氣閥之問互鎖，從而確保設(shè)備安全運行。由于管路沒有加維持泵，在抽高真空時，氣動擋板閥由于損壞或誤操作而漏氣，使冷空氣進入，冷空氣遇高溫油蒸氣，使氣體迅速膨脹發(fā)生。

干式真空泵檢修及其干式真空泵原理。1）干試螺桿真空泵干試螺桿真空泵，是運用一對擠出機螺桿，在（干式真空泵檢修）泵體中作同歩髙速反方向轉(zhuǎn)動而造成的呼吸和排氣管功效的抽真空機器設(shè)備，兩擠出機螺桿經(jīng)細致轉(zhuǎn)子動平衡校準，由滾動軸承支撐點，安裝在泵體中，擠出機螺桿與擠出機螺桿中間都是有一定的空隙，因而泵工作中時，彼此之間無摩擦，運行穩(wěn)定，噪音低，工作中腔不用潤滑脂，因而，干試磁力泵能抽除帶有很多水蒸氣及小量的汽體場所，限真空泵高些，耗費輸出功率更低，具備環(huán)保節(jié)能，修等優(yōu)勢。它是骨架密封式/水環(huán)式/噴式機械泵的升級換代商品。

水環(huán)式真空泵在運行過程中，如果聲響不是由于上述正常流體力學(xué)現(xiàn)象造成的，而是出現(xiàn)下面三種情況之一，則說明泵內(nèi)出現(xiàn)了故障。

　　(1)在無任何壓縮比下，泵產(chǎn)生了噪音。

　　(2)有明顯的金屬摩擦聲或撞擊聲。

　　(3)軸功率明顯地增大(觀察電動機的電壓表和電流麥即可知)。

　　造成這種不正常的噪音，有可能是由于泵的側(cè)蓋與葉輪端面發(fā)生偏磨所造成的金屬摩擦聲，也有可能是泵內(nèi)有雜物，甚至是葉輪葉片玻碎等原因造成的，這時就要停機檢查，更換壞的配件。