無(wú)塵車(chē)間是指控制產(chǎn)品(如硅片)所暴露的大氣的清潔度和溫度濕度，以便產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境中生產(chǎn)和制造。這個(gè)環(huán)境空間的設(shè)計(jì)和建造過(guò)程可以稱(chēng)為凈化工程。針對(duì)無(wú)塵車(chē)間凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問(wèn)題，有許多常用的加濕方法，包括噴水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕。這些加濕方法屬于等焓加濕過(guò)程。在平時(shí)，工作人員除了需要定期進(jìn)行盆浴或淋浴外，還應(yīng)當(dāng)定期洗頭。保持身體的清潔，盡量減少死皮數(shù)量。

 針對(duì)無(wú)塵車(chē)間凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問(wèn)題，有許多常用的加濕方法，包括噴水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕。這些加濕方法屬于等焓加濕過(guò)程。無(wú)塵車(chē)間內(nèi)檢測(cè)到的壓力主要分為大氣壓和靜壓差。大氣壓是通常意義上的氣壓，很多行業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的氣壓有一定的要求。靜壓差必須在完全封閉的潔凈室內(nèi)檢測(cè)。在進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間時(shí)，應(yīng)該要先進(jìn)行風(fēng)淋。

墻面內(nèi)裝修當(dāng)需附加構(gòu)造骨架和保溫層時(shí)。應(yīng)采用非燃燒體或難燃燒體。在平時(shí)，工作人員除了需要定期進(jìn)行盆浴或淋浴外，還應(yīng)當(dāng)定期洗頭。保持身體的清潔，盡量減少死皮數(shù)量。無(wú)塵車(chē)間凈化工程竣工后，通常要進(jìn)行一定的檢查，通過(guò)后再使用。另外，在潔凈室使用的過(guò)程后，也需要進(jìn)行定時(shí)檢查，以使?jié)崈羰业沫h(huán)境潔凈度符合生產(chǎn)需要，也可以符合工作人員的生存需求。