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發(fā)布時間:2021-01-19 18:05  
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凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術請求來斷定,在滿意加工技術的條件下,必選應當思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請求的進步,技術對溫濕度的請求也越來越高,有必要到達必定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就導致了0.24um線性膨脹,所以有必要有±0.1度的恒溫,一起請求濕度值通常較低,因為人出汗今后,對商品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超越25度。
空氣凈化工程的作業(yè)原理是:用風機將空氣抽入機器,經(jīng)過內(nèi)置的濾網(wǎng)過濾空氣,首要能夠起到過濾粉塵、異味、有毒氣體和殺滅有些細菌的作用。濾網(wǎng)又分:集塵濾網(wǎng)、去甲醛濾網(wǎng)、除臭濾網(wǎng)、HEPA濾網(wǎng)等。其間本錢比較高的即是HEPA濾網(wǎng),它能起到分化有毒氣體和滅菌作用,格外是按捺二次污染。這類商品的特點是風機功用以及濾網(wǎng)的質(zhì)量決定凈化作用,機器的放置以及室內(nèi)規(guī)劃影響凈化是不是徹底,室內(nèi)凈化作用不均衡,也難以徹底,濾網(wǎng)更換費用較高。