常用的水冷式螺桿式冷水機組

潔凈室的冷熱源機組： 桿式冷水機組 螺桿式冷水機組是由螺桿式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、熱力膨脹閥、油分離器、自控元件和儀表等組成的一個完整的制冷系統(tǒng)。常用的水冷式螺桿式冷水機組冷凝器進出水溫分別設置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設置為7度，冷量范圍為580～1163kW。 離心式冷水機組 離心式冷水機組是由離心式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流機構(gòu)和調(diào)節(jié)機構(gòu)以及各種控制元件組成的整體機組。離心式冷水機組的制冷量較大，常用的水冷式離心式冷水機組冷凝器進出水溫分別設置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設置為7度，單機容量通常在1163kW以上，所以，離心式冷水機組一般用于大型中央空調(diào)系統(tǒng)。 在潔凈工程技術(shù)水平上，80年代末期，國外已大量建成0.1微米級的超凈室，1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個1000平方米控制0.1微米塵埃的千級廠房，換氣次數(shù)高達300次/分。美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達10000平方米。

潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染

潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染（Airborne Molecular Contaminants，AMC）作為IC工廠所關心的問題于20年前由日本人提出，近年來，世界IC技術(shù)發(fā)展迅速，IC芯片日益微型化。AMC對當前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料（化學品、特種氣體等）在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此，IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中，AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題，AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設計與施工建設的主流趨勢。目前，國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究，在該領域比較的企業(yè)有亞翔集成，在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列，而中國電子工程設計院則在防微震方面。

潔凈工程規(guī)范設計概算辦法

潔凈工程規(guī)范設計概算辦法，確立設計概算須經(jīng)過工程標準定額造價管理站和建行等審定，以確定的投資限額作為取費基數(shù)，這樣可去除人為擴大設計規(guī)模與冒算的費用。 制訂設計獎懲制度。設計圖紙被審查中心確認為設計的應給設計單位以特殊榮譽，對設計人員實施獎勵。 制訂“限額設計”標準。限額設計是工程建設過程中行之有效的控制方法，也是控制投資規(guī)模的有效措施之一。 因此，盡快組織有關部門，按建筑的不同類型和規(guī)模和潔凈度要求，制訂出適宜的限額設計標準，作為設計部門的“對照表”是設計管理工作中的一項重要任