EM 系列泵是結(jié)實(shí)耐用的機(jī)械油封泵，抽速為 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊，使用時(shí)非常安靜，具備先進(jìn)的潤(rùn)滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需求。3：在未涉及到真空設(shè)備組裝、加工核心技術(shù)的前提下，其它日常保養(yǎng)及維修，我司免費(fèi)提供技術(shù)支持。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 愛(ài)德華真空泵Edwards真空泵 旋片泵 油回轉(zhuǎn)高真空泵 愛(ài)德華 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類(lèi)型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來(lái)選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長(zhǎng)我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長(zhǎng)您制程的正常運(yùn)行時(shí)間。當(dāng)污油放出后，電機(jī)接電、斷續(xù)啟動(dòng)電機(jī)4-6次，使各真空腔內(nèi)部污油全部排出。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來(lái)克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會(huì)產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計(jì)成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。 對(duì)于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。鍍膜機(jī)專(zhuān)用真空泵機(jī)組E2M275 EH1200銷(xiāo)售愛(ài)德華E2M275 EH1200真空泵機(jī)組，英國(guó)Edward愛(ài)德華真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時(shí)，這些氣體會(huì)從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時(shí)， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來(lái) 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會(huì)侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對(duì)泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確?？梢?將泵溫度設(shè)置為一個(gè)較低值以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。我們的泵設(shè)計(jì) 具有可選的溫度設(shè)定點(diǎn)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。干泵選擇CVD制程通常需要通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)母杀卯a(chǎn)品來(lái)克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。對(duì)于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)定點(diǎn)上 達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問(wèn)題， 同時(shí)不使腐蝕速度過(guò)高。

真空泵泵體振動(dòng)大的原因有哪些?

水環(huán)變化：若水環(huán)內(nèi)徑變大(供水不足所致)，則葉片頂端將與水環(huán)內(nèi)壁發(fā)生碰撞，產(chǎn)生振動(dòng)。若水環(huán)內(nèi)徑變小(供水過(guò)量所致)，其對(duì)葉輪的擾流及阻力損失增加，引發(fā)振動(dòng)，同時(shí)增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保證合適的工作水供水量，若進(jìn)水管發(fā)生結(jié)垢及堵塞現(xiàn)象。只憑進(jìn)水壓力不能準(zhǔn)確衡量進(jìn)水供應(yīng)情況，一般可通過(guò)觀察上海真空泵的排水量來(lái)判斷水環(huán)的工作情況。傳動(dòng)軸桿上安裝有工業(yè)級(jí)滾柱軸承，可靠性極高，使用壽命和無(wú)故障工作時(shí)間也更長(zhǎng)5。