相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護形的氧化物，并阻止進一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

在無塵車間內(nèi)部的污染物質(zhì)就會因為互相吸附的重量掉到地上，從而降低空氣中的污染指數(shù)，那么對于粉塵的控制和ru侵，我們需要做到哪些呢。在壓強上無塵車間需要遵守的原則如下：1、無塵車間的潔凈如果想要讓其壓強比相互接近的區(qū)域壓強變低。2、無塵車間相互連通的區(qū)域內(nèi)部的門戶需要朝向更別的潔凈空間。3、無塵車間內(nèi)部的氣體壓強需要比潔凈程度的壓強要高。

溫度測試是確認空氣處理設(shè)施的溫度控制能力，溫度測試應(yīng)在凈化車間進行調(diào)試，氣流均勻性測試完成，并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運行24H以上后進行。凈化車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于需嚴格控制溫度精度時或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動態(tài)”進行測試時應(yīng)用；一般溫度測試主要使用于“空態(tài)”時溫度測試。