現(xiàn)在我們國家的凈化工程已經在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了，除了專業(yè)人士以外，其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大，時候普通寫字樓的20倍，比美國更發(fā)達國家高出了15%?？吹竭@些令人心驚的數(shù)字，我們國家的科學家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā)，設計出能夠節(jié)省的相關設備。布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產品工序要求的用室外，還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互，凈化工程的面積應在保證基本要求前提下，與生產規(guī)模相適應。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。

在實際施工中，凈化項目通常分為專業(yè)，分工和分時。 這種安排有利于各種專業(yè)和工作類型的管理。 但是，易于進行多塵和無塵的交叉操作，應盡可能避免這種結構布置。 如果不可避免，應該防止灰塵和有效清潔。而隨著凈化技術的發(fā)展，建設凈化車間的技術含量也越來越高，非專業(yè)人士不能也。除了在生產領域，凈化工程技術還會逐漸應用于家庭、公共場合，為人們提供更潔凈的生活空間具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

凈化工程的步的關鍵是設計，工程設計水平的好與壞將直接關系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經濟性。設計合理的空間面積應考慮到設備操作、維修的需要。生產區(qū)和儲存區(qū)應有與生產規(guī)模相適應的空間面積，用以安置設備、物料，便于操作和維修。設計凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級，增加一級過濾器。

對不同潔凈度等級的潔凈室，產生粉塵和有害氣體的潔凈室，被排介質毒性大的、有易1燃易1爆氣體的崗位，應單獨設局部排風系統(tǒng)。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等，凈化車間設計時，要根據(jù)實際情況選擇。