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發(fā)布時(shí)間:2021-07-01 03:11  

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激光干涉儀的類型有哪些?

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎?

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式式中λ為激光波長(zhǎng)(N 為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。以三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)來(lái)說(shuō),觸發(fā)測(cè)頭理想的使用方法就是用測(cè)針要垂直地去觸測(cè)零件,當(dāng)然零件完全保持垂直是不可能的,但是在觸測(cè)取點(diǎn)時(shí)至少須保持與零件垂直面角度在±30o以內(nèi),以防止測(cè)針觸測(cè)打滑而造成測(cè)量的精度不佳的情況產(chǎn)生。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。



雙頻激光干涉儀

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種外差式干涉儀。

在激光器上,加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生f1和f2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。加裝機(jī)床測(cè)頭系統(tǒng)可以縮短大部分的手動(dòng)找正和脫機(jī)檢測(cè)帶來(lái)的、耗費(fèi)成本的人工輔助時(shí)間,降低甚至消除人為因素導(dǎo)致的廢品。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。



更換測(cè)針(不同的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量軟件方法不同),因?yàn)闇y(cè)針長(zhǎng)度是測(cè)頭自動(dòng)校驗(yàn)的重要參數(shù),如果出現(xiàn)錯(cuò)誤,會(huì)造成測(cè)針的非正常碰撞,輕者碰壞測(cè)針,重則造成測(cè)頭(傳感器)損壞。

正確輸入標(biāo)準(zhǔn)球的實(shí)際直徑。從以上所敘的校驗(yàn)測(cè)針的原理中可知,標(biāo)準(zhǔn)球直徑值直接影響測(cè)針寶石球直徑的校驗(yàn)值,雖然這是一個(gè)小概率事件,但是對(duì)初學(xué)者來(lái)說(shuō),這也有可能發(fā)生的。