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PECVD石墨舟廠家生產來電咨詢「在線咨詢」

發(fā)布時間:2020-07-29 12:55  

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材質選用不同,其壽命也不同,氧化時間也會有所區(qū)別,一般,材質差的真空爐石墨棒,在經(jīng)過發(fā)熱加溫的過程中,極速氧化,不耐用,表面氧化后,其凹凸不平,直到斷烈,密度高的石墨棒,才是好的選擇,如果經(jīng)濟條件允許的情況下,可以考慮選擇用進口石墨作原材料,進行加工石墨棒,這樣,其壽命大大的增加。如條件不允許,可選擇國產高密度的石墨作原材料,其壽命也很耐用,但長度也會受到限制。


PE鍍膜后四周發(fā)白淺析,近期經(jīng)常接到客戶咨詢,石墨舟鍍膜后發(fā)現(xiàn)膜后的片子四周發(fā)白或四周發(fā)紅。并且如果是新舟直接用就沒有這個問題,用了循環(huán)后,清洗后就會發(fā)現(xiàn)這個問題。

這次就問題發(fā)生的原因做一個說明,并且給大家一些解決方法。

一般來說我們機臺出現(xiàn)問題基本上為三類,偏紅,正常藍,偏白(對應表中的淡藍色,無明確的白色膜厚,此時的白色部分膜厚接近90左右)

硅片在PECVD工序之前是常規(guī)的灰白色,通過一定的化學反應在片子表面生成一層膜。片子工藝結束后,就會得到我們需要的工藝顏色。




單層平板碾壓,雖然壓板平整光滑,但是不能太厚。一次成型太厚時,其均勻性和密度都難以保證。為了制成厚板,采用多層單板疊加,壓成多層復合板。每兩層之間要加粘結劑再碾壓成型。成型后要加熱處理,以使粘結劑碳化和硬化。多層平板碾壓法是在多層連續(xù)碾壓機上進行的。

多層連續(xù)碾壓機工作過程:由單板繞棍引出單板,經(jīng)過粘結劑涂輥把兩面土上粘結劑后,與繞輥和單板相合,成為三和厚板,進入輥的間隙碾壓成一定厚度。再送入加熱器中加熱烘干。通過厚度控制輥,調整厚度達到規(guī)定尺寸,然后送入焙燒裝置中焙燒。當粘結劑碳化后,在用加壓輥加壓成型。




由于刀具的選用不同,所加工的石墨表面粗糙程序也不一樣,有些特殊的石墨工件,如熔金石墨坩堝,其表面都是要拋光的,否側會出現(xiàn)由于石墨坩堝表面粗糙程序不一樣,導致一些黃金熔液冷卻后粘在石墨上面,不好脫落,造成黃金的流失,所以,石墨表面拋光是很有必要的。

不同的石墨材料,其拋光性也不一樣,如果用的二浸三焙的料,怎么拋都達不到其表面靜面的效果,但如果改用三浸四焙的石墨材料的話,很容易就能達到效,所以石墨材料的選擇也是石墨拋光效果的一種。

一般情況下,我們都是在車床上面加以拋光,也就是我們所謂的人工拋光,人工的話用砂布先拋然后用棉布再拋再用綢布拋,用專用設備和砂帶也可以。