雷尼紹激光干涉儀

雷尼紹設(shè)計(jì)、制造和提供激光系統(tǒng)已有近二十年的歷史。XL-80正是多年設(shè)計(jì)和制造經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶，具有真正優(yōu)良的系統(tǒng)性能和操作優(yōu)點(diǎn)。

RENISHAW激光干涉儀

雷尼紹公司的激光干涉儀和球桿儀測(cè)量系統(tǒng)用于評(píng)估、監(jiān)控并提高機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī) (CMM) 及其他位置精度要求關(guān)鍵的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)性能。激光干涉儀采用安裝在外部的光學(xué)鏡組件實(shí)現(xiàn)高精度、可重復(fù)、可溯源的測(cè)量。目前有兩款雷尼紹激光干涉儀系統(tǒng)在全球廣泛使用，一款是XL-80（自2007年開(kāi)始生產(chǎn)），另一款是被其替代的ML10（1988年至2007年）。

激光干涉儀介紹

激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線(xiàn)性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。

（1）數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置，以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量，其精度達(dá)±1。新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線(xiàn)，知曉其精度的每一細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。

（2）雙軸定位精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門(mén)移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床，由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度，而且還能通過(guò)RS232接口，自動(dòng)對(duì)兩軸線(xiàn)性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。