排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計(jì)時(shí)，要根據(jù)實(shí)際情況選擇。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板，不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間燈具。凈化工程技術(shù)的興起不過是上個(gè)世紀(jì)的事情，但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展，對(duì)凈化車間的依賴度也越來越高。

現(xiàn)在我們國家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了，除了專業(yè)人士以外，其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大，時(shí)候普通寫字樓的20倍，比美國更發(fā)達(dá)國家高出了15%?？吹竭@些令人心驚的數(shù)字，我們國家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā)，設(shè)計(jì)出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復(fù)，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產(chǎn)品工序要求的用室外，還應(yīng)配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互，凈化工程的面積應(yīng)在保證基本要求前提下，與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。

設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過濾器。也可分四級(jí)，增加一級(jí)過濾器。現(xiàn)在國內(nèi)的相關(guān)企業(yè)很多，所以凈化工程企業(yè)之間的競(jìng)爭也很激烈，因?yàn)榭萍嫉陌l(fā)展使得市場(chǎng)對(duì)凈化工程的要求高了起來，從以前的價(jià)格競(jìng)爭變成了現(xiàn)在的價(jià)值競(jìng)爭。所以相關(guān)的凈化工程企業(yè)應(yīng)該提高自身的自主研發(fā)能力，不斷的發(fā)展創(chuàng)新，才能適應(yīng)這個(gè)競(jìng)爭激烈的市場(chǎng)。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計(jì)時(shí)，要根據(jù)實(shí)際情況選擇。10級(jí)：主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級(jí)，并且我國半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中，在未來對(duì)潔凈度的要求更加高。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間"