廣州潽拓——{精}，分子泵

     EDWARDS EPX180L 半導(dǎo)體干式真空泵 EPX180L維修

愛(ài)德華EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清潔和輕 型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點(diǎn) 站應(yīng)用。EPX 系列以極輕、的 封裝提供工具上泵送功能，可實(shí)現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲zhuanli的獨(dú)特單軸再生 Holweck® 分級(jí)機(jī)構(gòu)，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強(qiáng)的性能，既可集成到制程工具，可以遠(yuǎn)程安裝。重量43.5KG。

潽拓——Edwards真空分子泵說(shuō)明書(shū)，分子泵

廣州潽拓專業(yè)維修分子泵，愛(ài)德華Edwards Ext 75dx iso100復(fù)合泵維修保養(yǎng)

性能特點(diǎn)

兼容TIC渦輪儀表控制器。

多種通訊模式。

并口，用于傳統(tǒng)控制信號(hào)接口。

串口，用于RS-232接口。

通過(guò)RS-232接口，用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。

正常泵速顯示。

準(zhǔn)備轉(zhuǎn)速顯示。

泵溫。

增強(qiáng)型泵速、功耗、溫度監(jiān)測(cè)。

潽拓——{精}{精}，分子泵

愛(ài)德華BOC Edwards epx180LE干式真空泵維修

進(jìn)氣法蘭ISO63

出口法蘭NW25

噪聲<59分貝（A）

zui小冷卻水流量2升/分鐘-1

冷卻水溫度15-35°C

電力供應(yīng)200/208 V，50/60 Hz三相

電機(jī)額定功率3.0千瓦

重量43.5公斤

EDWARDS EPX愛(ài)德華干泵功能和優(yōu)勢(shì)：

        可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有zui終用戶控制，可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。

緊湊的占地面積 – 作為可用的zui小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。