Parylene裂解儀

Parylene用獨特的真空氣相沉積工藝（CVD技術(shù)）制備，由活性小分子在基材表面'生長'出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱'無孔不入'可深入裂縫里和內(nèi)表面。這種真空狀態(tài)下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護性，甚至被業(yè)內(nèi)稱為當今世界的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。派瑞林鍍膜加工的優(yōu)勢：可以抗酸堿腐蝕，可以抗溶解（在普通的溶劑中不會被溶解）。Parylene涂層在具備以上優(yōu)異防護性能基礎上,尤其還具有良好的生物兼容性,生物穩(wěn)定性，并有優(yōu)異的自潤滑性,涂層均勻可控性,以及好的物理機械性能。

1.一腔體，采用SUS304不銹鋼艙體有效鍍膜空間 ≧ 直徑300mm x 高度350mm，腔體設有觀景窗, 采用掀蓋式腔蓋并設有把手以便腔蓋開閉。

2. 旋轉(zhuǎn)平臺，可承載重量: 20公斤,旋轉(zhuǎn)速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽氣速度 ≧ 200L/min ; 壓力 ≦ 5*10-3Torr。

4. 控制系統(tǒng)，采用具PID功能之溫控模塊及高的精度溫度傳感器，系統(tǒng)可進行自動或半自動(溫控/真空)操作,并可儲存與選擇Recipe 。

5. 附屬冷凝機，溫度 ≦ -90℃

期望大家在選購電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品時多一份細心，少一份浮躁，不要錯過細節(jié)疑問。想要了解更多電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品的相關資訊，歡迎撥打圖片上的熱線電話！?。?

鈣鈦礦鍍膜設備

以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司為您提供，今天我們來分享電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品的相關內(nèi)容，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助！

設備用途 ：

適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域

設備組成：

該設備主要由沉積室、真空排氣系統(tǒng)、真空測量、蒸發(fā)源、樣品加熱、電控系統(tǒng)、等部分組成。

      1、鍍膜室：方形前后開門結(jié)構(gòu)，內(nèi)帶有防污板。

      2、真空度：鍍膜室的極限真空≤5×10-5Pa；

      3、蒸發(fā)源系統(tǒng)：有機源蒸發(fā)源4個，無機蒸發(fā)源2套

      4、樣品架系統(tǒng)：樣品大小為Φ150mm的樣品，旋轉(zhuǎn)速度為：0～30轉(zhuǎn)/分；

      5、樣品在鍍膜過程中，可烘烤加熱，加熱溫度為：室溫～190℃，測溫控溫。

      6、膜厚控制儀：測量范圍0-999999?