光波超精密——靜壓空氣導軌

根據檢測方法的不同，可以對導軌直線度進行分類，對一般的導軌直線度，通常采用水平儀測距和橋板測距兩種方法，根據得到的一條近似于導軌實際線的誤差曲線，確定導軌直線度誤差。

但在測量高精度導軌直線度時，導軌本身的直線度等級會與檢測工具的直線度等級達到一個數量級，此時使用距法就不能將導軌與工具的直線度誤差分離，這時就需要一種不使用基準的高精度測量方法或技巧來有效地分離誤差，一般常用的是“直尺反測誤差分離法”。

光波超精密氣浮導軌廠家——靜壓空氣導軌

當前導軌直線度的常用檢測方法有：

有基準測量：將被測直線與選定的標準線相比較

無基準測量：在被測表面上取一定量的測點，用某種方法處理測量數據

用于三坐標測量機上的導向裝置有：滑動導向裝置、滾動導向裝置和氣浮導向裝置。滑軌精度高，承載能力強，但低速運行時摩擦阻力大，容易產生爬行，也不易在高速下運行，有逐漸被氣浮導軌取代的趨勢。現在大多數三坐標測量機都采用安氣靜壓導軌，也叫氣浮式導軌，其優(yōu)點是制作簡單，精度高，摩擦系數小，工作平穩(wěn)。

閉式靜壓導軌的特點是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強；

氣膜的剛度較高，因此對于導軌本身結構的剛度要求也較高；

(3)導軌的制作和調整較為復雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導軌一般采用不等面積氣腔結構。

根據安裝特點，氣浮導軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預載式。

光波超精密空氣導軌——靜壓空氣導軌

節(jié)流器的選擇和設計是氣浮導軌設計的關鍵。風門型式對氣動導軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節(jié)流器類型以小孔節(jié)流、環(huán)面節(jié)流和狹縫節(jié)流形式應用zui多；多孔質和環(huán)面淺腔節(jié)流是兩種較新的節(jié)流形式，具有承載能力高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，但對多孔質節(jié)流器而言，其節(jié)流特性主要受滲透系數的影響，而滲透系數主要由多孔質材料自身的特性決定，因此，其具體數值難以確定。環(huán)面式淺腔節(jié)流設計時，淺腔結構的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節(jié)流器的應用。剩下的節(jié)流形式，在實際中很少使用。