早期開發(fā)的變壓吸附制氧設(shè)備的共同點有以下幾個方面：

（1）大多采用高于大氣壓吸附、常壓解吸流程，吸附塔有兩個到四個；

（2）空氣進(jìn)入吸附塔前，經(jīng)過脫水預(yù)處理；

（3）設(shè)備可靠性差，不能連續(xù)穩(wěn)定運行，導(dǎo)致大部分設(shè)備報廢；

（4）技術(shù)、經(jīng)濟(jì)指標(biāo)落后。

20世紀(jì)90年代是我國變壓吸附制氧技術(shù)突飛猛進(jìn)向前發(fā)展的時期，變壓吸附制氧技術(shù)逐漸成熟。

PSA法能夠生產(chǎn)純度80%~95%的氧氣，制氧電耗一般在0.32kWh/Nm3～0.37kWh/Nm3，吸附壓力高于大氣壓，一般在30kPa～100kPa，流程簡單，常溫下工作，自動化水平高，可實現(xiàn)無人化管理，特別是安全性好。在真空解吸流程中，裝置操作壓力低，容器等不受壓力容器規(guī)范控制。2、分子篩式制氧機-種先進(jìn)的氣體分離技術(shù),物理方法直接從空氣中提取氧氣，即制即用,新鮮自然,制氧壓力為0。變壓吸附工藝按吸附器的數(shù)量，分為單塔流程、兩塔流程、三塔流程和五塔流程等。五塔流程的變壓吸附法為常用，就是用5個吸附床、4臺鼓風(fēng)機和2臺真空泵，整個周期中保持2個床在吸附和抽真空，解決了大規(guī)模產(chǎn)氧的技術(shù)問題 。

變壓吸附空分制氧始創(chuàng)于20世紀(jì)60年代初(Skarstrom, 1960; Guerin de Montgarenil & Domine, 1964)，并于70年代實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。在此之前,傳統(tǒng)的工業(yè)空分裝置大部分采用深冷精餾法(簡稱深冷法)80年代以來至今CaX和LiX等高吸附分離性能的沸石分子篩的相繼開發(fā)利用和工藝流程的改進(jìn)，使得變壓吸附空分技術(shù)得到迅速地發(fā)展，與深冷空分裝置相比，PSA過程具有啟動時間短和開停車方便、能耗較小和運行成本低、自動化程度高和維護(hù)簡單、占地面積小和土建費用低等特點。4、富氧膜制氧機采用膜制氧方式,通過膜對空氣中氮分子的過濾,達(dá)到出口氧氣30%的濃度,體積小,用電量小,可用于氧療保健。在不需要高純氧的中小規(guī)模(小于100噸/天，相當(dāng)于3000Nm3/h )氧氣生產(chǎn)中比深冷法更具有競爭力。廣泛的應(yīng)用于電爐煉鋼、有色金屬冶煉、玻璃加工、生產(chǎn)、炭黑生產(chǎn)、化肥造氣、化學(xué)氧化過程、紙漿漂白、污水處理、生物發(fā)酵、水產(chǎn)養(yǎng)殖、和軍事等諸多領(lǐng)域(楊，1991; Kumar, 1996; Jee, Park, Haam & Lee,2002)。