解決方案編輯大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求，不僅對(duì)廠房?jī)?nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求，而且對(duì)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍也有嚴(yán)格的要求。因此，在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應(yīng)的措施，例如：夏季要降溫、（因?yàn)橄募臼彝饪諝馐歉邷?、高濕的），冬季要加熱加濕（因?yàn)槎臼彝饪諝馐呛涓稍锏?，室?nèi)濕度過(guò)低會(huì)產(chǎn)生靜電，靜電對(duì)電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的）。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。

空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;D.維修頻率較低;E.車間的噪音低。缺點(diǎn)：A.需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房，如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。因?yàn)?，濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過(guò)程，加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達(dá)到加濕目的。對(duì)于舊廠房改造項(xiàng)目來(lái)說(shuō)比較困難空出一個(gè)20-30┫的機(jī)房的;B.造價(jià)高。

C.造價(jià)較低。特點(diǎn)：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等的凈化無(wú)塵廠房。3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī) FFU送風(fēng)口這是簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。解決方案編輯大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求，不僅對(duì)廠房?jī)?nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求，而且對(duì)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍也有嚴(yán)格的要求。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車間。

為確保潔凈室凈化工程內(nèi)所必須的空氣潔凈度，潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)中涉及到的各個(gè)專業(yè)設(shè)計(jì)均應(yīng)采取妥善的、可靠的技術(shù)措施，以減少或防止室內(nèi)產(chǎn)塵、滋生微生物，減少或阻止將微粒微生物或可能會(huì)造成交叉污染的物料帶人潔凈室凈化工程內(nèi)，有效地將室內(nèi)的微粒微生物排出，以減少或防止它們滯留潔凈室凈化工程內(nèi)。對(duì)于因塵粒脆生物或物料的交叉污染會(huì)危害產(chǎn)品雨量或人身安全時(shí)．還應(yīng)采取安全、可靠的技術(shù)措施防讓交叉污染，如嚴(yán)格控制不同用選的潔凈室凈化工程之間的靜壓差，按要求合理地劃分凈化空調(diào)系統(tǒng)以及回風(fēng)系統(tǒng)的妥善設(shè)計(jì)等。但在一個(gè)操作間，機(jī)器以及機(jī)器周圍走動(dòng)的人員，會(huì)對(duì)氣流形成障礙。