高純氮?dú)庵饕\(yùn)用在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。在真空離子鍍膜中，在真空條件下使高純氣體（氧、氮、氬、乙炔）放電實(shí)現(xiàn)鍍膜。

為進(jìn)一步提高高純氧氣的內(nèi)外質(zhì)量，達(dá)到內(nèi)控標(biāo)準(zhǔn)，更好地適應(yīng)和滿足市場需要，為下一步真正達(dá)到和超過國標(biāo)要求創(chuàng)造條件，生產(chǎn)部籌劃、組織對(duì)高純氮、高純氬等高純氣體的生產(chǎn)成立高純氣生產(chǎn)小組，采取定崗、定人、專職、專瓶的控制措施，并對(duì)高純氣生產(chǎn)及管理制定了嚴(yán)格的規(guī)范，近一個(gè)月來進(jìn)行了人員培訓(xùn)、流程熟悉及試生產(chǎn)等工作，已逐步走上正規(guī)。對(duì)滿足客戶需求，提高企業(yè)信譽(yù)有了一個(gè)良好的開端。三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，是一種強(qiáng)氧化劑。

管道閥門及連接

氣體管道普遍采用球閥、隔膜閥和波紋管閥，根據(jù)氣體純度、有毒性和可燃爆l炸性要求選擇相適應(yīng)的閥門。純度在99.9999％以內(nèi)的氣體管道，采用304不銹鋼球閥，可以采用法蘭連接，法蘭墊片為軟金屬墊片、聚四氟乙烯墊片。總雜質(zhì)含量≤10ppm的氣體管道，采用隔膜閥和波紋管閥?？扇急琹炸性的氣體必須采用波紋管閥。閥門采用卡套連接，軟金屬整片。由于隔膜閥具有波紋管閥相同的密封性能外，還具有閥內(nèi)死空間小、容易吹除干凈、污染小等突出特點(diǎn)，總雜質(zhì)含量≤lppm純度要求極為嚴(yán)格的管道以及危險(xiǎn)性極大的氣體管道，推薦使用隔膜閥。閥門采用VCR卡套連接，軟金屬墊片。并用肥皂水或攜帶式可燃性氣體爆檢測儀進(jìn)行檢查，禁止用明火檢查。

高純氣體管路安裝具有哪些優(yōu)勢？

1、 高壓氣體充裝臺(tái)、氣體匯流排、氣瓶集裝閣、氣體工位分配箱系列

2、 空溫式、電加熱、水浴式汽化器系列

3、 新一代往復(fù)式低溫液體泵、二氧化碳充裝泵、低溫液體離心泵、二氧化碳灌注泵、大流量泵系列

4、 永l久氣體防錯(cuò)裝接頭、槽車用快速接頭、各式充瓶卡具系列

5、 高壓不銹鋼軟管、不銹鋼波紋管系列、真空多層絕熱低溫液體管道系列

6、 低溫閥門、不銹鋼球閥門、不銹鋼截止閥、各種氣體管路閥、止逆閥、安全閥、氧氣瓶閥及其配件系列

7、 溶解成套設(shè)備及大中小型空分設(shè)備配件系列

8、 氣體管路減壓器、調(diào)壓閥、壓力表、氫、氧、高中壓回火防止器

9、 氣體鋼瓶檢測設(shè)備、氣瓶真空干燥裝置系列

10、氣體調(diào)壓輸送裝置、多元?dú)怏w配氣裝置、氣體試壓裝置