專業(yè)維修愛德華真空泵 E2M80真空泵維修保養(yǎng)

供應Edward愛德華EM 系列（大型油封式真空泵）維修保養(yǎng)，主要型號：E2M18,  E2M28,  E2M30, E2M40,  E2M80, E2M175， E2M275，同時提供愛德華真空泵維修包，保養(yǎng)配件，進口愛德華真空泵油，免費提供后期保養(yǎng)技術支持，品質保證，希望廣大的客戶朋友可以在茫?；ヂ摼W中找到一家技術成熟，性價比又高的愛德華真空泵維修廠家、、、、

承諾：

1：凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用過程中導致貴司的真空泵故障和異常，我司將免費負責處理和維修，并免費提供機器給客戶備用，以確?？蛻粽Ｉa。

2：凡使用我司的真空泵耗材，正常使用過程中，在保用期內出現任何質量問題我司將對其免費更換。

3：在未涉及到真空設備組裝、加工核心技術的前提下，其它日常保養(yǎng)及維修，我司免費提供技術支持。

4：珠三角范圍客戶我司承諾24小時內派出技術人員到達客戶公司及時處理真空設備故障，東莞范圍客戶8小時到達。

E2M80真空泵維修保養(yǎng)覆蓋地區(qū)：全國各地，珠三角地區(qū)可以上門提貨，如有特殊需要可以提供現場維修。外地的一般是走物流，我司維修好后再郵寄回去。

半導體加工我們繼續(xù)革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產品使用壽命并降低持續(xù)服務成本，努力協調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。愛德華70#真空泵油應用：真空泵油適用于往復式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用，亦可用于各種擴散真空泵等。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。EdwardsE2M80油封式旋片真空泵愛德華真空泵Edwards真空泵旋片泵油回轉高真空泵愛德華E2M80油封式旋片真空泵Edwards真空泵。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運行時間至關重要。

我們的產品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現超高真空。iH干泵系列的峰值抽速從80到1800立方米/小時，其中iH1800干泵是專為高排量應用而設計的。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

使用真空泵機組時需要注意什么?

1、在蒸餾系統(tǒng)和真空泵機組之間，必須裝有吸收裝置。

2、蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統(tǒng)中溶劑的蒸氣。

3、如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質中含有揮發(fā)性物質，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。

4、真空泵機組腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。

5、減壓系統(tǒng)必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。