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發(fā)布時間:2021-03-30 06:31  
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廣州帕納光電科技有限公司----VARIAN TV301分子泵維修廠家;
分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同,利用了動量傳遞原理,使分子定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的?! 》肿颖迷陔姍C的帶動下高速旋轉(zhuǎn),采用變頻電源驅(qū)動電機,目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。
分子泵是一種真空泵,它使用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將動量傳遞到氣體分子以獲得方向速度,從而將其壓縮并驅(qū)動到上一級的排氣口。
維護分子泵的操作要求:
1.分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏;
2.分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵;
應用程序提供了對分子泵的遠程控制功能,使您可以輕松簡便的和監(jiān)測泵的運行狀態(tài),查看泵的參數(shù)和參數(shù)變化曲線,如功率變化曲線,真空度變化曲線(如果安裝有適配的真空計),這在您設計真空系統(tǒng)或抽氣工藝時將會非常有用。您還可以通過該應用程序?qū)С鋈罩疚募?,并保存在手機上或通過郵件、短信等,與您的同事或安捷倫技術支持團隊快速共享泵的信息和日志文件。日志文件可以通過電子表格(excel)程序打開并查看,只需點擊幾下屏幕,就可以方便的進行溝通,這避免反復的詢問和確認,開啟了一種全新的交流方式。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。
由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很好,因此工作時油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計。渦輪分子泵的極限真空度能達到10-8Pa的數(shù)量級,抽速可以達到1000L/s,達到抽速的壓力區(qū)間是1~10-8Pa之間,因此在使用時要以旋片機械泵作為其前級泵。升級完成的安捷倫生產(chǎn)流程管理系統(tǒng),和新增的大量自動化生產(chǎn)裝配工藝和設備,保證了產(chǎn)品的一致性,和質(zhì)量的穩(wěn)定性。
電壓的不穩(wěn)定,特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。
鎖母鎖緊過度只會導致軸間墊過早失效,相反適度鎖緊鎖母,使軸間墊始終保持一定的壓縮彈性,在運轉(zhuǎn)中鎖母會自動適時鎖緊,使軸間始終處于良好的密封狀態(tài)。
新的比舊的好。相對而言,使用新機械密封的效果好于舊的,但新機械密封的質(zhì)量或材質(zhì)選擇不當時,配合尺寸誤差較大會影響密封效果;由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很好,因此工作時油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計。在聚合性和滲透性介質(zhì)中,靜環(huán)如無過度磨損,還是不更換為好。因為靜環(huán)在靜環(huán)座中長時間處于靜止狀態(tài),使聚合物和雜質(zhì)沉積為一體,起到了較好的密封作用。