選用使用方法

壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中zui為常用的一種傳感器。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號(hào)，模擬信號(hào)是指信息參數(shù)在給定范圍內(nèi)表現(xiàn)為連續(xù)的信號(hào)?；蛟谝欢芜B續(xù)的時(shí)間間隔內(nèi)，其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現(xiàn)為任意數(shù)值的信號(hào)。而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的，這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。

壓力傳感器有多種形式，每種結(jié)構(gòu)的過(guò)載保護(hù)設(shè)計(jì)方法也不同。許多方法各有優(yōu)缺點(diǎn)。使用MEMS技術(shù)的小范圍，高靈敏度壓力傳感器通常具有平膜，島膜，梁膜和其他結(jié)構(gòu)通常在設(shè)計(jì)過(guò)載保護(hù)時(shí)通過(guò)凸起和其他方法實(shí)現(xiàn)。形成方法包括背蝕刻技術(shù)，硅直接鍵合技術(shù)和玻璃蝕刻技術(shù)。然而，這些結(jié)構(gòu)通常具有很大的局限性，因?yàn)榍怀叽绱螅`敏度進(jìn)一步受限，并且硅晶片的利用率降低，制造工藝的復(fù)雜性增加，并且生產(chǎn)成本增加。

目前，小范圍和高靈敏度壓力傳感器的研究重點(diǎn)集中在犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器上。這主要是因?yàn)闋奚鼘咏Y(jié)構(gòu)壓力傳感器彈性膜片非常薄，厚度可以是2μm甚至更薄。在如此薄的結(jié)構(gòu)中，如果使用擴(kuò)散硅或多晶硅膜作為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的應(yīng)變電阻，則其厚度相對(duì)較大，這對(duì)彈性膜片的應(yīng)力分布有很大影響，這是不利于犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的性能優(yōu)化。因此，使用多晶硅納米薄膜來(lái)制造應(yīng)變電阻器可以進(jìn)一步利用犧牲層技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)。

5、壓力傳感器在稱重系統(tǒng)中的應(yīng)用

在工業(yè)控制技術(shù)的商用稱重系統(tǒng)中，壓力傳感技術(shù)越來(lái)越多的被應(yīng)用。在很多壓力控制過(guò)程中，經(jīng)常需要采集壓力信號(hào)， 轉(zhuǎn)換成能夠進(jìn)行自動(dòng)化控制的電信號(hào)。以壓力傳感器制作的壓力控制裝置一般稱為電子稱重系統(tǒng)，電子稱重系統(tǒng)作為各種工業(yè)過(guò)程中物料流動(dòng)的在線控制工具顯得越來(lái)越重要。電子稱重系統(tǒng)既能組合在產(chǎn)品制造過(guò)程中優(yōu)化生產(chǎn)，提高產(chǎn)品質(zhì)量，又能把有關(guān)生產(chǎn)過(guò)程中物料流動(dòng)的數(shù)據(jù)加以采集并傳送到數(shù)據(jù)處理中心，作為在線庫(kù)存控制和財(cái)務(wù)結(jié)算之用。

在稱重的過(guò)程自動(dòng)化控制中，要求壓力傳感器不僅能感知重力信號(hào)，而且其性能必須可靠、動(dòng)態(tài)響應(yīng)性要好、抗干擾性能要好;壓力傳感器提供的信號(hào)經(jīng)檢測(cè)系統(tǒng)可以直接顯示、記錄打印、存儲(chǔ)或用于反饋調(diào)節(jié)控制。通過(guò)集成技術(shù)將壓力傳感器與測(cè)量線路集成在一起，使得整個(gè)裝置的體積大大減??；另外屏蔽技術(shù)的發(fā)展，也將使得稱重壓力傳感器的抗干擾能力得到保障，使得稱重過(guò)程的自動(dòng)化控制程度進(jìn)一步得到提高。

6、壓力傳感器在機(jī)器人上的應(yīng)用

隨著機(jī)器人行業(yè)越來(lái)越發(fā)展，壓力傳感器在機(jī)器人上也得到了廣泛的應(yīng)用，多維力傳感器以及拉壓力傳感器已經(jīng)普遍應(yīng)用到機(jī)械臂上，用來(lái)監(jiān)控壓力或者抓取力

精度：

精度是指測(cè)量值與實(shí)際值的誤差，也叫測(cè)量誤差，影響傳感器精度的因素有很多，比如說(shuō)非線性、滯后、蠕變、溫度等等。很多人誤把分辨率當(dāng)精度，其實(shí)不然，兩者不是并不是同一個(gè)意思，傳感器的分辨率往往要比精度高，比如說(shuō)壓力傳感器，分辨率可以達(dá)到1/100000，但這并不代表壓力傳感器的測(cè)量精度可以達(dá)到這么多，如果是S型的壓力傳感器，精度一般為0.02~0.03%FS。如果配儀表使用，分辨率是可以設(shè)置的（儀表一般設(shè)的是分辨力），例：S型壓力傳感器，量程1000KG，儀表設(shè)置1位小數(shù)，分辨力設(shè)為1，zui小分辨即為0.1KG，這個(gè)0.1KG指的是分辨力，而不是精度，按照精度0.02%FS計(jì)算，測(cè)量誤差應(yīng)該為0.2KG。以上即為傳感器的分辨率、分辨力與精度，希望對(duì)大家有所幫助。