愛德華E2M80真空泵維修的（6）個(gè)流程

1.確認(rèn)問題（如有需要，會(huì)在24小時(shí)內(nèi)排出專業(yè)技術(shù)人員趕赴現(xiàn)場確認(rèn)愛德華真空泵故障）

2、取泵維修（在故障確認(rèn)后精捷會(huì)給出具體維修周期、維修方案和可達(dá)到的效果并上門取泵）                                        

3、拆開報(bào)價(jià)（為了讓客戶更清晰的知道維修費(fèi)用，明勝把維修費(fèi)用細(xì)分化、合理化            

4、確認(rèn)維修（客戶同意維修費(fèi)用后開始維修，維修時(shí)刻現(xiàn)場觀摩，維修后所換配件原封不動(dòng)送還客戶                                        

5、試機(jī)確認(rèn)（確保維修過后達(dá)到真空度和穩(wěn)定性能，真空度達(dá)到出廠標(biāo)準(zhǔn)）                  

6、送泵安裝（在試機(jī)OK后24小時(shí)內(nèi)，客戶可當(dāng)初驗(yàn)收真空泵，看試機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)效果）                     

7、定期維護(hù)（保修3個(gè)月內(nèi)會(huì)不定期的回訪，3個(gè)月后會(huì)有專門的售后人員跟蹤維護(hù)）

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。5Torr的壓力范圍下、需要超過3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場合。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運(yùn)行時(shí)間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會(huì)產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置，它的旋轉(zhuǎn)速度高達(dá)90000RPM（1500轉(zhuǎn)／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十億分之二個(gè)大氣壓），并且它設(shè)計(jì)緊湊，體積小，重量輕。需要將真空泵設(shè)計(jì)成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。 對(duì)于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時(shí)，這些氣體會(huì)從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時(shí)， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。我們的泵設(shè)計(jì)具有可選的溫度設(shè)定點(diǎn)和高旋轉(zhuǎn)速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免發(fā)生的總體材料損失速率。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會(huì)侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對(duì)泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確?？梢?將泵溫度設(shè)置為一個(gè)較低值以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。我們的泵設(shè)計(jì) 具有可選的溫度設(shè)定點(diǎn)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對(duì)于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)定點(diǎn)上 達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時(shí)不使腐蝕速度過高。

設(shè)備的參數(shù)相同，但是真空泵內(nèi)在的技術(shù)不一樣，所以可靠性還有噪音震動(dòng)，這些方面的數(shù)據(jù)也都會(huì)存在差異，我們作出選擇的過程中，盡量的去選擇那些可靠性更高，噪聲更低，震動(dòng)更小的設(shè)備應(yīng)用的過程中，才能夠給我們帶來了更多的保障，如果設(shè)備內(nèi)在的技術(shù)不成熟，使用的過程中存在著各種問題，那么不僅會(huì)對(duì)周圍的環(huán)境帶來影響，也會(huì)給我們造成不利的問題發(fā)生，因此大家應(yīng)該正確的去認(rèn)識(shí)。另外，摩擦?xí)斐沙晒纳仙托氏陆?，同時(shí)局部會(huì)有溫升，因此工藝參數(shù)對(duì)轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要。