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發(fā)布時(shí)間:2020-12-04 15:47  
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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
透明基板1、透明玻璃 。石英玻璃(Quartz Glass)蘇打玻璃(Soda-lime Glass)低膨脹玻璃(Low Expansion Glass)2、透明樹脂遮光膜(1)硬質(zhì)遮光膜:鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。(2)乳膠。
如需要烤版,烤版時(shí)要注意:①首先要選好烤版膠,烤版膠不能太臟。使用無掩模光刻機(jī)讀取版圖文件,對(duì)帶膠的空白掩膜版進(jìn)行非接觸式曝光(曝光波長(zhǎng)405nm),照射掩膜版上所需圖形區(qū)域,使該區(qū)域的光刻膠(通常為正膠)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)經(jīng)過顯影、定影后,曝光區(qū)域的光刻膠溶解脫落,暴露出下面的鉻層。如用固體桃膠配制,一定要用熱水溶膠,膠要徹底溶開、過濾再用。②把適量的烤版膠涂在版面上,用海綿將版面涂擦均勻。③烤版膠不能用干布擦拭。④版材在烘版箱中烘烤,圖像區(qū)域會(huì)均勻變色。不同的PS版,烘烤時(shí)間、溫度及終顏色會(huì)不一致,所以需通過試驗(yàn)確定烤版條件。
機(jī)顯時(shí)還要注意以下幾點(diǎn):①要定期維護(hù)顯影機(jī),以保證已曝光的PS版顯影能正常進(jìn)行。光刻工藝是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個(gè)重要步驟,利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫器件結(jié)構(gòu),再通過刻蝕工藝將掩膜上的圖形轉(zhuǎn)換到襯底上。②在顯影之前必須保持各傳動(dòng)輥清潔,若牽引輥不干凈,顯影時(shí)印版易粘上臟點(diǎn)。③如顯影機(jī)有涂膠裝置,一定注意膠輥要保持清潔,否則要弄臟印版。④一般情況下,陽(yáng)圖PS版顯影液(原液)的顯影能力為10m2/L。⑤上保護(hù)膠時(shí),一定要均勻施膠,不能太厚,以免干后導(dǎo)致涂層龜裂和掉版。
光刻掩膜版材質(zhì)可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時(shí)所常用的光刻掩膜版。
石英掩膜版
使用石英玻璃為基板材料,光學(xué)透過率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長(zhǎng),主要用于掩膜版
使用蘇打玻璃作為基板材料,光學(xué)透過率較高,熱膨脹率相對(duì)高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對(duì)弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版