三軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)精密度高些、抗千擾能力強(qiáng)、檢測(cè)范圍大、負(fù)載能力強(qiáng)。撓性原材料的性能立即危害到加速度計(jì)的性能。能夠做為撓性擺的原材料關(guān)鍵有金屬材料和石英二種，傳統(tǒng)式的液浮擺式加速度計(jì)擺片選用金屬?gòu)?fù)合材料，而石英的線膨脹系數(shù)則比鋼小的多，原材料性能好于金屬材料。且石英耐疲勞極限高，原材料自身落后小，很合適于做為加速度計(jì)的擺片。石英撓性加速度計(jì)一面世，就迅速替代了液浮擺式加速度計(jì)，變成慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)系統(tǒng)中不能缺乏的重要元器件。 石英撓性加速度計(jì)是慣性技術(shù)應(yīng)用中高精度的加速度計(jì)，須配合再平衡回路進(jìn)行加速度測(cè)量。對(duì)再平衡回路進(jìn)行合理設(shè)計(jì)可達(dá)到不同的性能指標(biāo)以滿足不同的應(yīng)用需求。

隨著慣性系統(tǒng)低成本化的發(fā)展，在20世紀(jì)60年代中期開(kāi)始出現(xiàn)新型的非液浮的所謂干式加速度計(jì)。由于這種儀表采用撓性支承技術(shù)，所以稱為石英撓性加速度計(jì)，且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡(jiǎn)化。目前這種石英撓性加速度計(jì)已廣泛應(yīng)用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。三軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)屬于單軸重力加速度計(jì)，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。三軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)的工作原理是慣性質(zhì)量受到外界加速度時(shí)，相對(duì)位置發(fā)生輕微偏移，引起差動(dòng)電容極板距離的變化導(dǎo)致差動(dòng)電容量的變化。

石英撓性加速度計(jì)屬于單軸重力加速度計(jì)，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。 石英撓性加速度計(jì)的工作原理是慣性質(zhì)量受到外界加速度時(shí)，相對(duì)位置發(fā)生輕微偏移，引起差動(dòng)電容極板距離的變化導(dǎo)致差動(dòng)電,三軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)是一種檢測(cè)差動(dòng)電容的用伺服電路，同石英電容傳感器配接在一起，構(gòu)成一個(gè)完整石英撓性加速度計(jì)。 加速度計(jì)廣泛用于慣導(dǎo)系統(tǒng)中，測(cè)量運(yùn)動(dòng)載體的加速度、速度、位置傾角等。該器件采用厚膜混合集成電路工藝技術(shù)制成，主要特點(diǎn)是密封性高、溫度范圍寬、低功耗、體積小、重量輕、可靠性高和無(wú)外接元件。

石英撓性加速度傳感器為單軸力矩反饋式加速度計(jì)，通過(guò)檢測(cè)質(zhì)量來(lái)檢測(cè)外界的加速度信號(hào)，再經(jīng)伺服電路解調(diào)、放大，輸出電流信號(hào)正比于加速度信號(hào)。石英撓性加速度是慣性導(dǎo)航系統(tǒng)核心的慣性器件之一,其輸出精度受到溫度變化的影響,為了降低溫度對(duì)石英撓性加速度計(jì)精度的影響,在研究石英撓性加速度計(jì)數(shù)學(xué)模型的系數(shù)隨溫度變化規(guī)律的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了加速度計(jì)溫度模型辨識(shí)試驗(yàn)方法,利用數(shù)據(jù)擬合方法建立了加速度計(jì)溫度模型.應(yīng)用該模型提出了石英撓性加速度溫度補(bǔ)償算法,針對(duì)該算法的有效性,進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,結(jié)果表明應(yīng)用該溫度補(bǔ)償算法,可使加速度計(jì)的測(cè)量精度提高一個(gè)數(shù)量級(jí),補(bǔ)償效果明顯.該溫度補(bǔ)償算法可有效地應(yīng)用于捷聯(lián)式慣性導(dǎo)航系統(tǒng)等領(lǐng)域中。