無塵車間的監(jiān)測

1. 為確保無塵車間的凈化環(huán)境和無塵度，需對無塵車間定期監(jiān)測，監(jiān)測項目和頻次照有關規(guī)定。如有特殊要求，可另行規(guī)定。

2. 發(fā)現(xiàn)下列情況，空氣過濾器應予更換：

(1) 氣流速度降到低限度，即使更換初效和中效空氣過濾器后，氣流速度仍不能增大。

(2) 空氣過濾器風量為原風量的70%。

(3) 空氣過濾器出現(xiàn)無法修補的滲漏。

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無塵車間的維護

1. 建立無塵車間安全措施綜合系統(tǒng)，設置火災報警、排煙、消防、事故照明等設施，對制劑中使用化學藥品、氣體的無塵車間，還應根據(jù)腐蝕、可燃、自燃、有毒等物品性質采取相應的安全措施。

2. 無塵車間的維護管理應包括對無塵車間的空氣凈化設備、配制制劑中使用的物料、設備和無塵車間的操作人員等管理。應建立相應的管理制度，明確管理內容方法和責任，執(zhí)行應有記錄。

無塵車間凈化工程的凈化原理

氣流→初效空氣處理→空氣調節(jié)→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→送風口→潔凈室→帶走塵埃 → 回風夾道→新風、初效空氣處理。  

重復以上過程，即可達到凈化目的。  

技術參數(shù)  

換氣次數(shù)：十萬級10－15次/小時；  

萬級15－25次/小時；  

千級50－52次/小時;  

百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s；  

壓差：主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa；  

溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；  

相對濕度：45－65％（RH）；  

噪聲≤65dB（A）；  

新風補充量：總送風量的20％－30％；    

照度：≥300Lux。  

結構材料  

1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。  

2.地面采用環(huán)氧自流平或耐磨塑料潔凈地板。  

3.凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高的效率的設計和高的效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中 。5、穿戴整齊后通過緩沖間進入風淋室，不建議在緩沖間長時間停留。