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發(fā)布時(shí)間:2020-12-19 06:51  
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NR9-3000PYNR27 25000P光刻膠價(jià)格
光刻膠底膜處理:清洗:清潔干燥,使硅片與光刻膠良好的接觸。烘干:去除襯底表面的水汽,使其徹底干燥,增粘處理(涂底): 涂上增加光刻膠與硅片表面附著能力的化合物,HMDS,光刻膠疏水,Sio2 空氣中,Si-OH, 表面有,親水性,使用HMDS (H2C)6Si2NH 涂覆,熏蒸 與 SI –OH結(jié)合形成Si-O-Si(CH2)2,與光刻膠相親。光刻膠的目標(biāo)厚度的確定主要考慮膠自身的化學(xué)特性以及所要圖形中線條的及間隙的微細(xì)程度。
PR1-1500A1NR27 25000P光刻膠價(jià)格
6,堅(jiān)膜
堅(jiān)膜也叫后烘,是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現(xiàn)象,能使膠膜附著能力增強(qiáng),康腐蝕能力提高。
堅(jiān)膜溫度通常情況高于前烘和曝光后烘烤的溫度 100-140度 10-30min
7,顯影檢驗(yàn)
光刻膠鉆蝕、圖像尺寸變化、套刻對(duì)準(zhǔn)不良、光刻膠膜損傷、線條是否齊、陡
小孔、小島。
NR9-3000PY 相對(duì)于其他光刻膠具有如下優(yōu)勢(shì):
- 優(yōu)異的分辨率性能
- 快速地顯影
- 可以通過調(diào)節(jié)曝光能量很容易地調(diào)節(jié)倒梯形側(cè)壁的角度
- 耐受溫度100℃
- 室溫儲(chǔ)存保質(zhì)期長(zhǎng)達(dá)3 年
NR9-3000PY
11.請(qǐng)教~有沒有同時(shí)可以滿足RIE
process 和Lift-off
process的光阻,謝謝!
A 我們推薦使用Futurrex
NR1-300PY來滿足以上工藝的需求。
12.Futurre光刻膠里,有比較容易去除的負(fù)光阻嗎?
A NR9-系列很容易去除,可以滿足去膠需要。
13.我們目前用干膜做窄板,解析度不夠,希望找到好的替代光阻?
A NR9-8000因?yàn)橛泻芨叩腁R比例,適合取代,在凸塊的應(yīng)用上也有很大的好處。
14.傳統(tǒng)的Color
filter 制程,每個(gè)顏色的烘烤時(shí)間要2-3個(gè)小時(shí),有沒有更快的方法制作Coior
filter?
A 用于Silylation制程------烘烤時(shí)間只需要2分鐘,同時(shí)光阻不需要Reflow, 顏色也不會(huì)老化改變,只需要在Filter上面加熱溶解PR1-2000S光阻,Microlenses就能形成!
15.請(qǐng)問有專門為平坦化提供材料的公司嗎?
A 美國(guó)Futurrex公司,專門生產(chǎn)應(yīng)用化學(xué)品的,可以為平坦化的材料提供PC3-6000和PC4-1000都是為平坦化用途設(shè)計(jì),臺(tái)灣企業(yè)用的比較多。
16.我需要一種可用于鋼板印刷的方式來涂布PROTECTIVE
COATING,那種適合??
A 推薦美國(guó)Futurrex,PC4-10000。
17.臘是用來固定芯片的,但很難清洗干凈,哪里有可以替代的產(chǎn)品介紹下,謝謝?
A 我們公司是使用Futurrex
PC3-6000,可以替代的,而且去除比較容易,你可以試用下。
18.請(qǐng)問有沒有100微米厚襯底為鍍鎳硅并可用與MEMS應(yīng)用的光刻膠嗎?
A NR4-8000P可以做到140微米的厚度,并在鍍鎳的襯底上不會(huì)出現(xiàn)難去膠的問題,如果是其他非鍍鎳襯底NR9-8000P是適合的選擇。
19.誰有用在光波導(dǎo)圖案的光刻膠?是否可以形成角度為30度的側(cè)壁?
A 你必須實(shí)現(xiàn)通過逐步透光來實(shí)現(xiàn)掩膜圖案棱的印刷,NR4-8000P是專門為光波導(dǎo)圖案應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。

