涂敷過程在真空下進行，好稱它為蒸汽沉積聚合（VDP），作為一種涂敷技術，VDP提供了可靠的先進性,明顯要由于刷涂，浸涂，噴涂等其它涂敷技術。它的先進性主要來源于它是由氣相單體直接形成固體涂層而沒有一個液態(tài)的中間過渡階段。因此在傳統(tǒng)方法中由于表面張力而引起的從棱刃處流淌到低的溝槽里積料的現(xiàn)象它不會發(fā)生。Parylene涂層是從基材的表面向外"生長"，形成一個均勻厚度的敷形涂層，好多試驗證明這種涂敷處理涂層厚度在1微米以下時也是無的。

Parylene在微電子／微馬達上的應用 　　　　

Parylene涂層不僅有優(yōu)異的介電性能、低的介質(zhì)損耗和高的介電強度，同時具有優(yōu)良的機械性能和耐輻射性能。Parylene如此高的介電強度主要歸功于Parylene能形成連續(xù)無缺陷和無其它填充物的薄膜。

微電子、半導體：使用高純的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護。傳感器和換能器：自動化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器， Parylene涂層防護可以提高環(huán)境適應性和可靠性，涂層無，且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管。適用于各種惡劣環(huán)境。

精密模具硬質(zhì)涂層設備真空鍍膜機是工業(yè)化生產(chǎn)理想設備。其大特點是能對各種金屬及非金屬進行表面鍍膜，可鍍制Au、Cu、Al、Cr、Ni，不銹鋼等高溫、低溫耐蝕膜，裝飾保護膜，又可鍍制TiC等硬膜，在機械、輕工、電子、等領域有著廣泛的應用。膜層表面光滑致密，無公害，提高硬度、耐磨損、防腐蝕、美化裝飾，

可通過鹽霧測試、冷熱沖擊測試、酒精測試、人體行業(yè)測試、RCA測試、鉛筆硬度測試、折彎測試、百格測試等

該設備離化率高、成膜速率快、低溫等特性，可根據(jù)用戶要求設計制造非標設備