石墨是我們在中學的化學課本當中就學過的一種碳元素的重要同素異形體。在自然狀態(tài)下是碳元素在高溫的情況下才能夠形成的，在世界的不少地方，比如美國的紐約我國的黑龍江等都是盛產(chǎn)石墨的地方。

在行業(yè)內(nèi)稱之為塊狀石墨管的是致密結(jié)晶狀的石墨管。它主要的結(jié)構(gòu)特點就是比較致密的結(jié)晶體。這種石墨管的穩(wěn)定性好，非常的緊密，比較的堅固，品位高但是可塑性和滑膩性并不是很好，這主要也是由于它自身結(jié)構(gòu)比較致密決定的。

新石墨舟飽和狀態(tài)后在沉積時仍有一部分等離子技術(shù)在石墨舟上面沉積，運作頻次低于三十次時，伴隨著運作頻次的提升，石墨舟上面沉積的等離子技術(shù)降低，片間勻稱性越佳。運作頻次超過三十次后，伴隨著應(yīng)用頻次的提升，石墨舟片內(nèi)腔與硅片觸碰邊沿處塑料薄膜增厚，靜電場反倒強大，產(chǎn)生大量的低溫等離子沉積，易出現(xiàn)不一樣水平的邊沿泛白狀況，造成片間勻稱性多次下降。


應(yīng)用后的石墨舟的清洗：石墨舟一般在應(yīng)用100-150次上下必須對其表層的氨化硅開展清洗。提議應(yīng)用濃度值15-25%的氫fu酸水溶液，分三個輪次來清洗，每一次4-5鐘頭；并在侵泡清洗全過程中開展規(guī)律性N2鼓包，加三十分鐘上下的清洗；留意：鼓包不建議立即應(yīng)用氣體做為氣動閥門。酸洗鈍化后用純凈水浸洗10鐘頭上下，并確定舟體早已完全清洗整潔。請在清洗完畢后查驗舟的表層、石墨守點與舟片相接處、及其別的位置是不是也有氮化硅的殘留。隨后依照規(guī)定開展風干。