凈化車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

根據潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調機配合送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

凈化車間門檻部位又須根據運輸與人行等不同要求作特殊構造處理。一捏單扇平開凈化車間門的四邊縫隙中倒有三邊需作不同的處理，而且雙扇凈化車間門的中縫也是特殊構造。塔式加熱設備圓柱狀塔內有一根鉆有許多小孔的無縫不銹鋼管用于導入蒸汽，小孔直徑為5-8mm，數目與導管的橫截面積有關，且上疏下密。所以在凈化車間門的設計中對于活動縫隙的密封處理是更為突出的問題。開啟扇與框料相互搭接的槽口尺寸與槽口形式問題，是活動縫隙密封設計小必須注意的重要問題。村局、框、五金、密閉條及其作用方式等四個方面因素要綜合考慮，使它們在構造亡和受力狀態(tài)上相互協(xié)調，達到密封的目的。應該特別指出，凈化車間門扇比窗扇大而且重，密封壓緊時施力要大得多，特別平時總在不斷啟閉旋轉，故還須從控制凈化車間門扇下垂和保證凈化車間門扇剛度等方面來著重考慮五金選用問題。

建筑平面設置應該屬建筑專業(yè)的專業(yè)范疇，但由于食品凈化車間要求人、物分流，并要保持各潔凈操作間的靜壓梯度，因此，該工程中建筑平面要求具備以下幾點：

1、各凈化操作間集中設置獨立前室為氣閘，氣閘室與各操作間同時相通，確保低潔凈區(qū)的空氣不向高潔凈區(qū)滲透。

2、實驗室的人的流經過更衣室更衣?lián)Q鞋→清洗間洗手→緩沖間→風淋室→各操作室。

3、食品空氣凈化車間物流由外走廊經過機械連鎖自消毒傳遞窗消毒后進入緩沖走廊后再經過傳遞窗進入各操作室。

其次，應清潔電子工廠潔凈室的人員清潔工作?？諝饬茉￠g應安裝在潔凈室的入口。采用低阻力空氣過濾器：盡量采用低阻力空氣過濾器，以降低送風機的壓頭損失，減少電能的消耗，或及時清潔、更換過濾器，減少系統(tǒng)運行阻力，節(jié)省運行費用。單人空氣淋浴間應由較多人數的30人建立?？諝饬茉￠g的進出不得同時進行。打開時，應選擇聯(lián)鎖控制措施。如果是潔凈室中設備和物料的出入口，則應獨立設置，還應設置貨物淋浴間。如果物料或產品的轉移需要在不同級別的潔凈室中進行，則應建立轉移窗口。