氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏率

機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試

配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質(zhì)，確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷

雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設計，防大氣沖擊

支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用

可檢漏率（負壓模式）         5×10-13Pa?m3/s

可檢漏率（正壓模式）         1×10-8Pa?m3/s

以上內(nèi)容由中科鼎新公司為您提供，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法

電子元器件進密性檢測時常用背壓法。吸槍在試件表面移動，同時注視氦質(zhì)譜檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸槍所指位置即漏點所在。檢漏前用專用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入專用檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實施檢漏。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐，終到達質(zhì)譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率

氦質(zhì)譜檢漏儀

能為不同的應用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氦質(zhì)譜檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、、飛機等這些都要用到真空檢漏技術