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凈化工程設(shè)備服務(wù)為先「多圖」

發(fā)布時間:2021-05-10 05:05  

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凈化工程在設(shè)計時,工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材。10級:主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中,在未來對潔凈度的要求更加高。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。


地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板,不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間燈具。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來越高,非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會逐漸應(yīng)用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間1級:塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當金屬塵埃落于集成電路上時,就可能造成短路。當空氣中的酸性離子落在電路上時,可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級潔凈度的要求。


具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"1級:主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會使產(chǎn)品壽命受到影響。


100級:是常用的凈化工程,除了對空氣中的塵埃數(shù)有要求,對空氣中細菌的濃度也有明確要求。一般用于醫(yī)行業(yè)進行無菌制造,例如制造臨床用于植入人體內(nèi)的物品,藥生產(chǎn)。醫(yī)學(xué)科學(xué)實驗也在此環(huán)境中,包括實驗動物飼養(yǎng)環(huán)境。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"