種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設計方案。

電磁輻射法基于破壞細菌以及被吸收戶的熱效應等原理，紫外線滅菌就屬于該方法，常用的有紫外線殺菌燈等，利用紫外線燈直接布在潔凈室內(nèi)，利用上班前后、午間休息、交接班等空檔時間開燈照射殺菌，時間控制在0.5-1H左右，滅菌效果良好而實用。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈室、無塵室的咨詢、規(guī)劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。工程的規(guī)劃首先要加強對設計單位設計凈化工程圖紙質(zhì)量的外部監(jiān)督與審查。

基礎的承受能力按大于機組總重量的1.2倍進行考慮，務必注意承載體的強度和可靠性，否則將有重大隱患；基礎高度應高于機房地平面200-300mm，小型號機組基礎取小值，機組外形尺寸長寬各大于機組外形尺寸長寬50-100mm；很多行業(yè)和潔凈工程公司合作是一個長期的過程，所以在找公司來施工的時候，關注他們的售后服務和報價是非常關鍵的?；A表面應平整、光潔，其對角線水平誤差以不超過5mm為宜，如基礎不水平，可能會導致冷凝水排放不暢，造成漏水；對于安裝在地面上的機組，為減少機組振動的傳遞，建議在機組底座下放置減振膠墊。