氦質譜檢漏儀的應用

氦質譜檢漏儀的行業(yè)應用，KM6空間環(huán)模裝置設備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另外有輔助真空室和載人艙等。容積3500m3，分系統(tǒng)多，結構復雜，各種接口焊縫相加有幾千米長，采用氦質譜檢漏儀負壓檢漏，每條焊縫由檢漏盒密封，配以鋪助抽氣系統(tǒng)將盒內抽低真空后，充入一定壓力氦氣，關閉預抽閥，開啟檢漏閥。由于盒內氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。航天工業(yè)中，各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應用氦質譜檢漏儀及其檢漏技術。

氦質譜檢漏儀的工作原理是什么？

檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個密封腔體內充滿氦氣，用質譜檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測，如果密封存在問題，則有氦氣泄漏，被質譜儀檢測到。質譜檢漏儀是一種簡易的質譜儀，對分辨率和檢測的質量范圍要求很低，但對靈敏度要求較高。其實各個種類的質譜儀都可用來作為檢漏質譜儀。

    

氦質譜檢漏儀示蹤氣體選擇

對示蹤氣體的要求：氦質譜檢漏儀都用氦氣(He)作為示蹤氣體，也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的質譜檢漏儀器。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體：空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，同等條件下，直線運動距離長。實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實際大部分檢漏使用的是氦氣。質譜檢漏儀器示蹤氣體一般具有以下特點：

1、無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害。

2、質量輕，惰性氣體，能穿透微小細縫。

3、化學性質穩(wěn)定，不會起化學反應。

4、Z好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。

真空法氦質譜檢漏的優(yōu)缺點

真空法的檢測標準主要有QJ3123-2000《氦質譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗》，主要應用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設備等。

真空法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，可以準確定位，能實現(xiàn)大容器或復雜結構產品的檢漏。

真空法的缺點是只能實現(xiàn)一個大氣壓差的漏率檢測，不能準確反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態(tài)。