電子束結(jié)構(gòu)介紹

粒子增速器的結(jié)構(gòu)可以與顯像管類(lèi)比。顯像管中的電子槍對(duì)應(yīng)于增速器的電子槍或離子源，顯像管中加速電子用的高壓電極對(duì)應(yīng)于增速器中的高壓加速電極及加速腔。顯像管中控制電子運(yùn)動(dòng)的電偏轉(zhuǎn)板與聚焦電子的聚焦線圈，對(duì)應(yīng)于增速器中控制粒子運(yùn)動(dòng)軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件，如導(dǎo)向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。對(duì)粒子增速器的粒子運(yùn)行管道來(lái)說(shuō)，為了減少粒子在運(yùn)動(dòng)中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞，所要求的真空度比顯像管要高數(shù)千到數(shù)萬(wàn)倍。作用：電子束蒸鍍常用來(lái)制備Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蝕和耐高溫氧化膜。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，根據(jù)科學(xué)家對(duì)粒子能量和流強(qiáng)的不同要求，陸續(xù)產(chǎn)生了不同原理、不同結(jié)構(gòu)的多種增速器。

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電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點(diǎn)

* 渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵

* pocket電子槍

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開(kāi)關(guān)電源，杰出的消弧性能

* 自動(dòng)Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監(jiān)測(cè)，可設(shè)置目標(biāo)膜厚作為工藝終點(diǎn)條件

* 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門(mén)，便于放片/取片

* PC全自動(dòng)控制，具有高度的可重復(fù)性

* Labview軟件的計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制控

* 多級(jí)密碼保護(hù)的授權(quán)訪問(wèn)設(shè)計(jì)

* EMO保護(hù)以及完全的安全聯(lián)鎖

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