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發(fā)布時(shí)間:2020-11-11 06:56  
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使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)絕i對(duì)反射率進(jìn)行測(cè)量,可進(jìn)行高i精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。
可通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件
膜厚儀測(cè)試時(shí)有關(guān)輻射安全注意事項(xiàng)
幅射安全方面膜厚儀由于使用X射線管而產(chǎn)生輻射。測(cè)量頭的設(shè)計(jì)完全符合國(guó)際X射線安全要求: ·測(cè)量頭控制臺(tái)上的一個(gè)鑰匙開關(guān)通過(guò)打開或關(guān)閉X射線管上的高壓決定X幅射的產(chǎn)生與否; ·一個(gè)多級(jí)故障自動(dòng)保險(xiǎn)互鎖系統(tǒng)可控制X幅射的產(chǎn)生,從而有效保護(hù)操作者的安全; ·如果測(cè)量門沒有完全關(guān)閉,X幅射就不會(huì)進(jìn)入測(cè)量室; ·足夠的遮罩用來(lái)減小外部的幅射量。
膜厚儀如何系統(tǒng)校準(zhǔn)?
校準(zhǔn)的方法、種類,這是新用戶經(jīng)常會(huì)遇到的問題。系統(tǒng)校準(zhǔn)、零點(diǎn)校準(zhǔn)還有兩點(diǎn)校準(zhǔn)其實(shí)都已經(jīng)在說(shuō)明書上寫到了,用戶只需仔細(xì)閱讀就可以了。需要注意的是:在校準(zhǔn)鐵基時(shí)1好是多測(cè)量幾次以防止錯(cuò)誤操作;系統(tǒng)校準(zhǔn)的樣片要按照從小到大的順序進(jìn)行。如果個(gè)別標(biāo)準(zhǔn)片丟失可以找與其數(shù)值相近的樣片代替。
影響膜厚儀測(cè)量的的客觀因素
耦合劑對(duì)膜厚儀的影響。耦合劑是用來(lái)排除探頭和被測(cè)物體之間的空氣,使超聲波能有效地穿入工件達(dá)到檢測(cè)目的。如果選擇種類或使用方法不當(dāng),將造成誤差或耦合標(biāo)志閃爍,無(wú)法測(cè)量。因根據(jù)使用情況選擇合適的種類,當(dāng)使用在光滑材料表面時(shí),可以使用低粘度的耦合劑;當(dāng)使用在粗糙表面、垂直表面及頂表面時(shí),應(yīng)使用粘度高的耦合劑。