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晶圓研磨機GDM300內(nèi)置修邊系統(tǒng)可作為薄型晶圓加工

發(fā)布時間:2021-08-13 14:07  

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晶圓研磨機GDM300內(nèi)置修邊系統(tǒng)可作為薄型晶圓加工




晶圓研磨機GDM300晶圓減薄特長:
·采用全自動系統(tǒng),從后磨到貼裝的連續(xù)過程,可研磨至25um厚度。


·2個磨頭階段,產(chǎn)量幾乎是1個磨頭系統(tǒng)的兩倍。


·內(nèi)置修邊系統(tǒng)可作為薄型晶圓加工的選擇。


·雙指標(biāo)體系,拋光階段和研磨階段完全分離,滿足TSV和MEMS工藝所需的清潔。


·超亮度小于Ra1A,可超鏡面。


了解更多:http://www.hapoin.com/Wafer_Grinding/gdm300.htm


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衡鵬供應(yīng)
晶圓研磨/晶圓減薄/晶圓拋光/晶圓背拋/Wafer Grinding   GNX200BP