氦質(zhì)譜檢漏儀概述

氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)領(lǐng)域名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)

1，獨(dú)特的氣路設(shè)計(jì)，提高了對(duì)氦的抽速，縮短了清氦本底時(shí)間，有效防止氦污染。2，檢漏口配備：定制精密過(guò)濾裝置，可有效避免雜物顆粒或銅粉進(jìn)入儀器內(nèi)部。3，多模式功能輸入、輸出，輕松連接各種自動(dòng)化設(shè)備。4，機(jī)械與電路有效分開，避免了溫度、電磁場(chǎng)等彼此干擾，使檢漏儀運(yùn)行更加穩(wěn)定、可靠。5，可檢漏率低，靈敏度高，檢測(cè)量程達(dá)到11級(jí)。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方式

1、示蹤氣體A放在容器里面，處于正壓，然后用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測(cè)，容器外圍是否有氣體A，如果容器外有氣體A，則容器有漏。用這種方式能檢測(cè)出漏點(diǎn)，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫Sniffer檢漏或正壓檢漏。

2、示蹤氣體A噴在容器外面，用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測(cè)容器里面是否有氣體A。這種方式能檢測(cè)出漏點(diǎn)，并能測(cè)知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。

如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。

氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀，通過(guò)檢測(cè)氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。氦質(zhì)譜檢漏儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，氦質(zhì)譜檢漏儀才能穩(wěn)定正常工作。