中國空氣凈化技術(shù)起步于上世紀(jì)60年代引起關(guān)注并得到推廣和應(yīng)用

中國的空氣凈化技術(shù)起步于上世紀(jì)60年代、90年代引起關(guān)注并得到推廣和應(yīng)用。到今天,大大小小的空氣凈化工程公司如雨后春筍般遍地開花,技術(shù)力量參差不齊、魚目混珠。 潔凈手術(shù)部的建筑裝飾應(yīng)遵循不產(chǎn)塵、不積塵、耐腐蝕、防潮防霉、容易清潔和負(fù)荷防火要求的總原則。 潔凈手術(shù)部內(nèi)地面應(yīng)平整，采用耐磨、防滑、耐腐蝕、易清洗、不易起塵與不開裂的材料制作。有特殊要求的，可采用有特殊性能的涂料地面。

空氣過濾器的選用布置和安裝方式

凈化工程：空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合：初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器；中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段；空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，空氣過濾的安裝方式應(yīng)簡便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞、空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用；阻力、效率相近的空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。

潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染

潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染（Airborne Molecular Contaminants，AMC）作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前由日本人提出，近年來，世界IC技術(shù)發(fā)展迅速，IC芯片日益微型化。AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只需要確定粒徑及個(gè)數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料（化學(xué)品、特種氣體等）在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此，IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中，AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問題，AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計(jì)與施工建設(shè)的主流趨勢。目前，國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究，在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成，在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列，而中國電子工程設(shè)計(jì)院則在防微震方面。

凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管的安裝

安裝條件 對凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管的安裝，應(yīng)在建筑物內(nèi)部安裝部的地面做好，墻面已抹灰完畢室內(nèi) 無塵土飛揚(yáng)，或有防塵措施的條件下進(jìn)行。 檢查現(xiàn)場結(jié)構(gòu)預(yù)留孔洞的尺寸、位置是符合圖紙要求，有無遺漏現(xiàn)象，預(yù)留的孔洞應(yīng)比風(fēng)管實(shí)際截面尺寸大于10mm。 作業(yè)地點(diǎn)要有相應(yīng)的輔助設(shè)施，比熱梯子、架子及電源和安全設(shè)置、消防器材。 使風(fēng)管、附件及成品及半成品，應(yīng)有出廠合格證。 風(fēng)管支吊架安裝前必須進(jìn)行防腐處理。 風(fēng)管安裝應(yīng)按設(shè)計(jì)圖，并有施工技術(shù)、質(zhì)量、安全交底。