進(jìn)口愛德華真空泵油過濾器A22304032

原裝進(jìn)口愛德華真空泵配件，Edward真空泵過濾器， Edward愛德華真空泵旋片，進(jìn)口愛德華真空

泵油，愛德華真空泵密封件/維修包等……，型號(hào)齊全，價(jià)格實(shí)惠。

愛德華過濾器主要作用：真空泵油過濾器是很多進(jìn)口真空泵品牌配置的一種油過濾裝置，主要過濾顆

粒雜質(zhì)粉塵，保持真空泵油質(zhì)量，提高真空泵使用壽命。

Edward愛德華半導(dǎo)體、平板顯示器、LED 和太陽能電池制造集成解決方案提供商，是工業(yè)、制

藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應(yīng)用的真空技術(shù)。 這些泵結(jié)

構(gòu)緊湊，使用時(shí)非常安靜，具備先進(jìn)的潤(rùn)滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需

求。

主要從事真空行業(yè)，銷售真空泵過濾器，真空泵葉片/滑片/石墨碳片，維修包/密封套

件，真空泵維修耗材。選擇比其爾的優(yōu)勢(shì)；擁有10年以上各類進(jìn)口真空泵技術(shù)專業(yè)，真空泵系統(tǒng)訂

制，真空泵維修/保養(yǎng)；如德國(guó)BUSCH普旭、德國(guó)Becker貝克、德國(guó)Rietschle偉力/里其樂、德國(guó)天

津Leybold萊寶、法國(guó)ALCATEL阿爾卡特、英國(guó)Edward愛德華、日本ULVAC愛發(fā)科，日本Orion好

利旺等品牌；

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長(zhǎng)我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長(zhǎng)您制程的正常運(yùn)行時(shí)間。我們的產(chǎn)品解決方案您可能需要使用渦輪分子泵(TMP)以便在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會(huì)產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計(jì)成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。Edward愛德華EH1200羅茨泵維修保養(yǎng)漏氣，有點(diǎn)卡死EH1200是德國(guó)Edward愛德華EH系列羅茨泵，這款泵是比較大的，羅茨泵不能單獨(dú)使用，一般是可以搭配螺桿泵或者旋片泵使用。 對(duì)于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時(shí)，這些氣體會(huì)從氣 相變?yōu)楣滔唷Ｔ诒盟瓦@些副產(chǎn)品時(shí)， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會(huì)侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對(duì)泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確?？梢?將泵溫度設(shè)置為一個(gè)較低值以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。我們的泵設(shè)計(jì) 具有可選的溫度設(shè)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。定期檢查電動(dòng)機(jī)電流值，不得超過電動(dòng)機(jī)額定電流泵長(zhǎng)期運(yùn)行后，由于機(jī)械磨損，使機(jī)組噪聲級(jí)振動(dòng)增大時(shí)，應(yīng)停機(jī)檢查，必要時(shí)可更換易損零件及軸承，機(jī)組大修期一般為一年。對(duì)于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)上 達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時(shí)不使腐蝕速度過高。

設(shè)備的參數(shù)相同，但是真空泵內(nèi)在的技術(shù)不一樣，所以可靠性還有噪音震動(dòng)，這些方面的數(shù)據(jù)也都會(huì)存在差異，我們作出選擇的過程中，盡量的去選擇那些可靠性更高，噪聲更低，震動(dòng)更小的設(shè)備應(yīng)用的過程中，才能夠給我們帶來了更多的保障，如果設(shè)備內(nèi)在的技術(shù)不成熟，使用的過程中存在著各種問題，那么不僅會(huì)對(duì)周圍的環(huán)境帶來影響，也會(huì)給我們?cè)斐刹焕膯栴}發(fā)生，因此大家應(yīng)該正確的去認(rèn)識(shí)。應(yīng)用真空冶金加工薄膜覆層技術(shù)制藥冷凍干燥冷凍和空調(diào)系統(tǒng)抽空、干燥和回填變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理工廠燈具制造低溫容器抽空化工行業(yè)中的真空干燥和蒸餾半導(dǎo)體設(shè)備制造用于高真空應(yīng)用的前級(jí)泵技術(shù)數(shù)據(jù)排量50Hz80m3h-1/47。

認(rèn)為真空泵機(jī)組內(nèi)密封水量不足，造成真空泵機(jī)組底部水量未充滿，氣水分離器內(nèi)的空氣漏入真空泵內(nèi)，使得真空泵內(nèi)的負(fù)壓形成得不夠高，噴射器的工作抽吸力不足。氣鎮(zhèn)雙位氣鎮(zhèn)可處理60g/hr水蒸汽，或高于同類產(chǎn)品的220g/hr（在RV12上為290g/hr）水蒸汽。據(jù)此臨時(shí)采用手動(dòng)啟動(dòng)方式，先啟動(dòng)密封水泵運(yùn)行5min，然后再啟動(dòng)真空泵，這樣有效地控制了真空的降低，同時(shí)將冷卻器進(jìn)行清理(發(fā)現(xiàn)冷卻器內(nèi)較臟)，保證了密封水量充足。采取以上措施后，在倒換真空泵組運(yùn)行過程中，未再有真空下降的異常發(fā)生。