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發(fā)布時間:2021-06-28 11:12  
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美國Futurrex的光刻膠
北京賽米萊德貿(mào)易有限公司供應(yīng)美國Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,此款負(fù)膠的設(shè)計適用于比較寬的波長范圍和i線(366納米)曝光工具。當(dāng)顯影后顯示出負(fù)的側(cè)壁角度,是lift-off工藝中比較簡易的光刻膠。和其他膠相比NR9i-3000PY有下面的優(yōu)勢: 1. 比較高的光刻速度,可以定制光刻速度來曝光產(chǎn)量 2. 比較高的分辨率和快的顯影時間 3. 根據(jù)曝光能量可以比較容易的調(diào)整側(cè)壁角度 4. 耐溫可以達(dá)到100攝氏度 5. 用RR5去膠液可以很容易的去膠 NR9-3000PY的制作和工藝是根據(jù)職業(yè)和環(huán)境的安全而設(shè)計。主要的溶劑是,NR9-3000PY的顯影在水溶液里完成。屬固含量(%):31-35 主要溶劑: 外觀: 淺液體涂敷能:均勻的無條紋涂敷 100攝氏度熱板烘烤300秒后膜厚涂敷自旋速度 40秒自旋。經(jīng)過2、3小時的日曬,透光部分的瀝青明顯變硬,而不透光部分瀝青依然軟并可被松香和植物油的混合液洗掉。

光刻膠市場
我國光刻膠市場規(guī)模2015年已達(dá)51.7億元,同比增長11%,高于國際市場增速,但全球占比仍不足15%,發(fā)展空間巨大。2015年我國光刻膠產(chǎn)量為9.75萬噸,而需求量為10.12萬噸,依照需求量及產(chǎn)量增速預(yù)計,未來仍將保持供不應(yīng)求的局面。據(jù)智研咨詢估計,得益于我國平面顯示和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我國光刻膠市場需求,在2022年可能突破27.2萬噸。在光刻膠生產(chǎn)種類上,我國光刻膠廠商主要生產(chǎn)PCB光刻膠,而LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小,相關(guān)光刻膠主要依賴進(jìn)口。放眼國際市場,光刻膠也主要被美國Futurrex 的光刻膠、日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、美國杜邦、德國巴斯夫等化工寡頭壟斷。一部分閃存產(chǎn)品前段器件形成時,需要利用前面存儲單元cell區(qū)域的層多晶硅與光刻膠共同定義摻雜的區(qū)域,由于光刻膠是作為高濃度金屬摻雜時的阻擋層,在摻雜的過程中,光刻膠的外層吸附了一定濃度的金屬離子,這使得光刻膠最外面形成一層堅硬的外殼。
芯片光刻的流程詳解(一)
在集成電路的制造過程中,有一個重要的環(huán)節(jié)——光刻,正因?yàn)橛辛怂覀儾拍茉谖⑿〉男酒蠈?shí)現(xiàn)功能?,F(xiàn)代刻劃技術(shù)可以追溯到190年以前,1822年法國人Nicephore niepce在各種材料光照實(shí)驗(yàn)以后,開始試圖復(fù)一種刻蝕在油紙上的印痕(圖案),他將油紙放在一塊玻璃片上,玻片上涂有溶解在植物油中的瀝青。經(jīng)過2、3小時的日曬,透光部分的瀝青明顯變硬,而不透光部分瀝青依然軟并可被松香和植物油的混合液洗掉。通過用強(qiáng)酸刻蝕玻璃板,Niepce在1827年制作了一個d’Amboise主教的雕板相的產(chǎn)品。據(jù)智研咨詢估計,得益于我國平面顯示和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我國光刻膠市場需求,在2022年可能突破27。
Niepce的發(fā)明100多年后,即第二次大戰(zhàn)期間才應(yīng)用于制作印刷電路板,即在塑料板上制作銅線路。到1961年光刻法被用于在Si上制作大量的微小晶體管,當(dāng)時分辨率5um,如今除可見光光刻之外,更出現(xiàn)了X-ray和荷電粒子刻劃等更高分辨率方法。據(jù)WitsView數(shù)據(jù),雖然近三年國際LCD廠商面板出貨量有所下降,但是由于大屏顯示的市場擴(kuò)增,LCD整體出貨面積變大,2016年出貨總面積達(dá)到1。
?Futurrex


提供先進(jìn)化學(xué)技術(shù)的多樣化解決方案
成立于1985年,總部設(shè)在美國新澤西州,富蘭克林市,高速成長并超過20年連續(xù)盈利的跨國公司
公司業(yè)務(wù)覆蓋范圍包括北美,亞太以及歐洲
基于多樣化的技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域:微電子、光電子、LED、太陽能光伏、微機(jī)電系統(tǒng)、生物芯片、微流體、平面印刷
解決方案:的光刻膠、摻雜涂層、平坦化涂層、旋制氧化硅(spin-onglase)。阻擋層(Barrior Layere)、濕法制程
客戶:從財富100強(qiáng)到以風(fēng)險投資為背景的設(shè)備研發(fā)及制造公司
使命
目標(biāo)
提供特殊化學(xué)品和全新工藝來增加客戶的產(chǎn)能
策略
提供獨(dú)特的產(chǎn)品來優(yōu)化生產(chǎn)制程,以提高設(shè)備能效
領(lǐng)的技術(shù)提升生產(chǎn)過程中的整體性價比
工藝步驟的減少降低了成本和產(chǎn)生瑕疵的可能
增加客戶的產(chǎn)能和生產(chǎn)的效率
工藝減化
非同尋常的顯微構(gòu)造、金屬及介電層上的圖形轉(zhuǎn)換、光刻、平坦化、摻雜、蝕刻、邦定
在生產(chǎn)過程中,不含有害溶劑
支持所有客戶的需要,與客戶共創(chuàng)成功