工件材質(zhì)必須極為細(xì)致均勻，并經(jīng)適當(dāng)處理以消除內(nèi)部殘余應(yīng)力,保證高度的尺寸穩(wěn)定性,防止加工后發(fā)生變形。加工設(shè)備要有極高的運(yùn)動精度，導(dǎo)軌直線性和主軸回轉(zhuǎn)精度要達(dá)到0.1微米級,微量進(jìn)給和定位精度要達(dá)到0.01微米級。對環(huán)境條件要求嚴(yán)格，須保持恒溫、恒濕和空氣潔凈，并采取有效的防振措施。加工系統(tǒng)的系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差都應(yīng)控制在 0.1微米級或更小。這些條件是靠綜合應(yīng)用精密機(jī)械、精密測量、精密伺服系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制等各種先進(jìn)技術(shù)獲得的。

刀具方面，采用金剛石砂輪，控制背吃刀量和進(jìn)給量，在超精密磨床上，可以進(jìn)行延性方式磨削，即納米磨削。即使是玻璃的表面也可以獲得光學(xué)鏡面。2精密加工和超精密加工的發(fā)展趨勢從長遠(yuǎn)發(fā)展的觀點(diǎn)來看，制造技術(shù)是當(dāng)前世界各國發(fā)展國民經(jīng)濟(jì)的主攻方向和戰(zhàn)略決策，是一個國家經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要手段之一，同時(shí)又是一個國家獨(dú)立自主、繁榮昌盛、經(jīng)濟(jì)上持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展、科技上的長遠(yuǎn)大計(jì)。科技的發(fā)展對精密加工和超精密加工技術(shù)也提出了更高的要求。

精密零件加工具體有哪些特點(diǎn)呢？

一、精密零件切削加工

主要有精密車削、鏡面磨削和研磨等。在精密車床上用通過精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，外表粗糙度為Rz0.05微米。

二、精密零件加工

精密零件加工精度以納米，甚至后以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標(biāo)時(shí)，超精密零件切削加工方法已不能適應(yīng)，必要借助特種精密零件加工的方法，即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯(lián)合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯(lián)合或晶格變形，以達(dá)到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機(jī)械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。