半導體加工我們繼續(xù)革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產品使用壽命并降低持續(xù)服務成本，努力協(xié)調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。該泵是油封的，旨在于實驗室和工業(yè)環(huán)境中都能進行可靠的長期運行。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進行的大型投資提供 可靠性。我們與EUV平版印刷OEM和光源OEM合作開發(fā)了精密真空系統(tǒng)，可為您進行的大型投資提供可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運行時間至關重要。

我們的產品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。3：在未涉及到真空設備組裝、加工核心技術的前提下，其它日常保養(yǎng)及維修，我司免費提供技術支持。

愛德華真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

Edward真空泵油概述：  提供一系列新型油：Ultragrade? 15、19、20 和 70，均采用制程生產。大多數制造商都采用溶劑精煉制程，而這些油則采用獨特的濕法處理制程生產。這一制程不會產生氮、硫、氧和芳香烴類，因此可得到無任何雜質的清潔基料。通用三相電機還可用于所有機型，對于特殊應用，我們可提供裝有ATEX認證防爆電機的泵。

加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩(wěn)定性和氧化穩(wěn)定性，不易生銹。油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。特性與優(yōu)勢： 加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩(wěn)定性和氧化穩(wěn)定性，不易生銹。通過與各主要科學儀器制造商、大學院校和主要研究機構的通力合作，我們能夠深入了解研究過程以及真空技術所發(fā)揮的作用。

油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。

這些油所具備的以上特性使其適用于多種應用。