因此，用活性炭吸附待分離溶液中的物質(zhì)后，選用CaCl2作為脫附劑可降低活性炭對吸附質(zhì)的吸附穩(wěn)定性，從而達到降低脫附活化能的目的。磁化脫附由于單分子水的性質(zhì)比簇團中的水分子活潑得多，能充分顯示它的偶極子特性，從而使水的極性增強。預(yù)磁處理能增大水的極性，這就能充分解釋經(jīng)過預(yù)磁處理后活性炭的吸附容量減小的現(xiàn)象。當(dāng)磁場強度增大時，分離出的單個水分子越多，則阻礙作用就越大，從而吸附容量減小得也就越多。

氣體的黏性、水滴直徑以及水的表面張力越大， 碰撞凝集效果越低；當(dāng)氣體中含有冷凝性物質(zhì)（主要是水分）時，由于含塵氣體經(jīng)過洗滌后可能達到以下，使冷凝物質(zhì)以塵粒為核心凝結(jié)，并覆蓋于其表面上。當(dāng)處理高溫氣體（尤其是含疏水性粉塵）時，可預(yù)先加濕含塵氣體或噴入蒸汽，提高凈化效率。

濕式除塵器的優(yōu)點有：

1）由于氣體和液體接觸過程中同時發(fā)生傳質(zhì)和傳熱的過程， 因此這類除塵器既具有除塵作用，又具有煙氣降溫和吸收有害氣體的作用；

2）適用于處理高溫、和有害氣體；

3）運行正常，凈化；

4）可用于霧塵集聚之粉塵、氣體；

5）排氣量衡定；

6）結(jié)構(gòu)簡單、占地面積小，投資低；

7）運行安全、操作及維修方便。

現(xiàn)在，一般性工業(yè)粉塵處理，運用布袋除塵器是一個不錯的選擇，不過廢氣、粉塵帶有黏性、水汽大一直是布袋除塵器忌諱的問題，在廠家規(guī)劃時都要先了解粘性、濕度等關(guān)鍵問題。假設(shè)有粘度的話一般是不建議運用布袋除塵器的，因為布袋除塵器處理功率高，投資低的特征被大部分人喜歡，黏性粉塵干法處理工藝（在進入布袋除塵器前參與抗黏劑），可以使用應(yīng)對噴漆廢氣、pvc、橡膠等行業(yè)的黏性去處理油性粉塵廢氣的問題。

UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設(shè)備性能安全穩(wěn)定，特別適用于采油(氣)田、石油化工、制藥等防爆要求高的行業(yè)。

　　以上關(guān)于集成電路制造行業(yè)廢氣處理方法以及工藝介紹，希望可以幫到您，其實對于集成電路制造行業(yè)廢氣處理，一般是需要根據(jù)廢氣的濃度、產(chǎn)生量、廢氣成分、如何收集等方面進行設(shè)計。