3M氟化液FC-40是無色透明全氟化學品，具有良好的化學惰性、電氣絕緣性能、熱傳導性和獨特的第表面張力廣泛應用于半導體制造廠作為熱傳導介質(zhì)。其液體溫度范圍為-57°C 至 155°C，主要應用于蝕刻設備、離子注入設備、測試設備及其他設備。因為FC-40是單一組分，所以其成分不好出現(xiàn)降解或者過期。FC-40沸點高，其隨時間的揮發(fā)也比較少。

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沉積用的溶劑 　　

3M Novec7100電子氟化液具有低黏度及低表面張力的特性，所以3M Novec7100電子氟化液具有高潤濕性與易流動的性能，其產(chǎn)品表現(xiàn)與PF-5060DL很類似。因此，3M Novec7100電子氟化液對全氟聚醚(PFPE)潤滑劑，能有效的溶解制程中所需之添加物。

氟溶劑的特征

全氟溶劑的密度大于普通有l機溶劑, 沸點范圍大, 是一種高密度, 無色無毒, 具有高度熱穩(wěn)定性的液體, 其特征是低折射率, 低表面張力和低介電常數(shù)。全氟溶劑是氣體的極l好溶劑,能溶解大量的氫氣, 氧氣, 氮氣和二氧化碳等, 但對于普通有l機溶劑和有機化合物溶解性卻很差