本底值影響l大的是分析高純氣中氮和氧（空氣中的主要成分）。經(jīng)純化后的載氣如仍產(chǎn)生本底影響，其主要原因是漏氣產(chǎn)生的。管路中有接頭、閥、表等就不可避免會(huì)漏入空氣。該技術(shù)由公司自主研發(fā)，工藝最l大特點(diǎn)是以廉價(jià)中低階粉煤、粉狀石灰作原料，可替代高階煤炭、蘭炭、焦炭、塊狀石灰等原料，能夠重塑能源生產(chǎn)與消費(fèi)體系，為推動(dòng)綠色低碳發(fā)展提供重要科技支撐。我們只能控制一定漏量，使之不影響分析。也就說“漏氣”是絕l對(duì)的，“不漏”只是相對(duì)的。例如使用高純氬氣分析儀時(shí)，為保證分析純氣純度必須優(yōu)于6個(gè)“9”。我們將載氣凈化到7個(gè)“9”以上，留出一定“空間”，使“漏氣”后仍滿足分析要求。在高純氣體分析儀上不允許使用有機(jī)材料作密封（因?yàn)榭諝庵械?、氧能穿透有機(jī)材料滲透進(jìn)入系統(tǒng)中），包括各種橡膠，聚四氟乙烯等[27]；另外，還要盡量少用卡套。

8、使用氫氣前，必須對(duì)設(shè)備、管道、閥門等連接點(diǎn)泄露進(jìn)行認(rèn)真仔細(xì)的檢查；并用肥皂水或攜帶式可燃性氣體爆檢測(cè)儀進(jìn)行檢查，禁止用明火檢查。  

9、氫氣系統(tǒng)設(shè)備運(yùn)行時(shí)，嚴(yán)禁敲擊、帶壓緊固和維修，不得超壓，禁止處于負(fù)壓狀態(tài)。  

10、使用新氫氣管接頭（新事故槍接頭）時(shí)，必須進(jìn)行清l脂脫油處理。  

11、切割結(jié)束，關(guān)閉氫氣、氧氣后，要對(duì)割嘴再點(diǎn)火，使氫氣管道內(nèi)余下的氫氣充分燃燒完，避免下次點(diǎn)火發(fā)生爆l炸或氫氣管子發(fā)生燃燒l傷人。  

12、使用氫氧火焰，閥門操作順序?yàn)椋狐c(diǎn)火時(shí)，先開氫氣閥，點(diǎn)燃后，開氧氣閥；停用時(shí)，先關(guān)氧氣閥，熄滅后，關(guān)氫氣閥。  

13、氫氣吹洗臵換、放空降l壓，必須通過排放管排放。

14、氫氣系統(tǒng)停運(yùn)后，應(yīng)有盲板或其他有效隔離措施隔斷，應(yīng)使用符合安全要求的惰性氣體進(jìn)行臵換吹掃，氫氣系統(tǒng)內(nèi)氧或氫含量至少連續(xù)2次分析合格。  

15、氫氣作焊接、切割、燃料和保護(hù)氣等使用時(shí)，每臺(tái)（組）用氫設(shè)備的支管上應(yīng)設(shè)阻火器。

為進(jìn)一步提高高純氧氣的內(nèi)外質(zhì)量，達(dá)到內(nèi)控標(biāo)準(zhǔn)，更好地適應(yīng)和滿足市場(chǎng)需要，為下一步真正達(dá)到和超過國(guó)標(biāo)要求創(chuàng)造條件，生產(chǎn)部籌劃、組織對(duì)高純氮、高純氬等高純氣體的生產(chǎn)成立高純氣生產(chǎn)小組，采取定崗、定人、專職、專瓶的控制措施，并對(duì)高純氣生產(chǎn)及管理制定了嚴(yán)格的規(guī)范，近一個(gè)月來進(jìn)行了人員培訓(xùn)、流程熟悉及試生產(chǎn)等工作，已逐步走上正規(guī)?？垢g性微電子生產(chǎn)中，經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體，這時(shí)必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會(huì)被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會(huì)發(fā)生安全事故。對(duì)滿足客戶需求，提高企業(yè)信譽(yù)有了一個(gè)良好的開端。

7.內(nèi)表面處理

為了進(jìn)一步改善管道材料特性，對(duì)管道內(nèi)表面進(jìn)行處理，一般有三種方法：酸洗鈍化（AP），光亮退火（BA）和電解拋光（EP）處理。試驗(yàn)資料和實(shí)踐都證明，通過表面處理后。管道材料的粗糙度減小。出氣速率降低。表面吸附性減弱。

8.管道材料及連接

純度在99.99％以內(nèi)的氣體管道，采用10#或20#無縫鋼管（內(nèi)表面鍍鋅或純化處理）、銅管。鍍鋅管道采用螺紋連接?？傠s質(zhì)含量≤10—100ppm的氣體管道，采用304不銹鋼光亮退火管（304BA）、304不銹鋼管純化處理（304AP）、紫銅管。9999％以內(nèi)的氣體管道，采用304不銹鋼球閥，可以采用法蘭連接，法蘭墊片為軟金屬墊片、聚四氟乙烯墊片。管道采用焊接連接，可以采用對(duì)接焊、承插焊或套管焊接?？傠s質(zhì)含量≤1-1oppm的氣體管道，采用316L不銹鋼光亮退火管（316LBA）、316L不銹鋼電拋光管（304EP）。管道連接采用焊接， 內(nèi)壁無瘢痕的對(duì)接焊，高純氬氣保護(hù)焊。總雜質(zhì)含量≤lppm的高純氣體管道，必須采用316L不銹鋼電拋光管（3l6LEP）。管道連接采用焊接，內(nèi)壁無瘢痕的對(duì)接焊，高純氬氣保護(hù)焊，在專用的潔凈室內(nèi)進(jìn)行。