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發(fā)布時(shí)間:2021-04-20 18:46  
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隨著應(yīng)用領(lǐng)域的細(xì)分,高溫油井、各類發(fā)動(dòng)機(jī)腔體等高溫惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)量愈發(fā)重要,而普通壓力傳感器所用材料在超過一定溫度時(shí)會(huì)失效,導(dǎo)致壓力測(cè)量失敗,因此高溫壓力傳感器成為一個(gè)非常重要的研究方向。
根據(jù)所用材料的不同,高溫壓力傳感器可以分為多晶硅高溫壓力傳感器、SiC高溫壓力傳感器、SOI高溫壓力傳感器、SOS硅-藍(lán)寶石壓力傳感器、光纖高溫壓力傳感器等不同類型。
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變磁阻式壓力傳感器主要部件是鐵芯跟膜片,它們跟之間的氣隙形成了一個(gè)磁路,當(dāng)有壓力作用時(shí),氣隙大小改變,即磁阻發(fā)生了變化,如果在鐵芯線圈上加一定的電壓,電流會(huì)隨著氣隙的變化而變化,從而測(cè)出壓力。
在磁通密度高的場(chǎng)合,鐵磁材料的導(dǎo)磁率不穩(wěn)定,這種情況下可以采用變磁導(dǎo)式壓力傳感器測(cè)量,變磁導(dǎo)式壓力傳感器用一個(gè)可移動(dòng)的磁性元件代替鐵芯,壓力的變化導(dǎo)致磁性元件的移動(dòng),從而磁導(dǎo)率發(fā)生改變,由此得出壓力值。
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溫度傳感器與被測(cè)介質(zhì)的接觸方式分為兩大類:接觸式和非接觸式,接觸式溫度傳感器需要與被測(cè)介質(zhì)保持熱接觸,使兩者進(jìn)行充分的熱交換而達(dá)到同一溫度,這一類傳感器主要有電阻式、熱電偶、PN結(jié)溫度傳感器等。
非接觸式溫度傳感器無需與被測(cè)介質(zhì)接觸,而是通過被測(cè)介質(zhì)的熱輻射或?qū)α鱾鞯綔囟葌鞲衅?,以達(dá)到測(cè)溫的目的,溫度傳感器隨溫度而引起物理參數(shù)變化的有:膨脹、電阻、電容、而電動(dòng)勢(shì)、磁性能、頻率、光學(xué)特性及熱噪聲等。
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