近年，在這些規(guī)則規(guī)模中堅(jiān)持處理空氣進(jìn)程，使咱們必需承擔(dān)資金和運(yùn)營本錢?？墒菫槭裁粗档没ㄙM(fèi)這么多錢用在無塵車間、潔凈室中操控相對(duì)濕度呢？道理很簡單，因?yàn)橄鄬?duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w體現(xiàn)下降的因素，其間包含：1、細(xì)菌成長；2、工作人員感到室溫舒適的規(guī)模；3、出現(xiàn)靜電荷；4、金屬腐蝕；5、水汽冷凝；6、光刻的退貨；7、吸水性。

無塵車間對(duì)潔凈室的需要以及對(duì)無塵車間潔凈度的要求，取決于潔凈室內(nèi)工藝的性質(zhì)。在這方面，將產(chǎn)品、工藝及人員所需要的保護(hù)水平，連同其它所有組成部分對(duì)潔凈度的整個(gè)要求一并考慮，是非常關(guān)鍵的。以現(xiàn)實(shí)的觀點(diǎn)看，保證對(duì)一個(gè)特定環(huán)境有充分的污染控制，就必須控制室內(nèi)換氣次數(shù)，控制室內(nèi)溫、濕度，控制與相鄰房間的壓差，控制室內(nèi)粒子濃度，控制房間使用的建筑材料與設(shè)備，控制微生物的數(shù)量，控制所用服裝的污染水平及通風(fēng)過濾器的數(shù)量。需要通盤考慮的其他因素有：人員的衛(wèi)生、設(shè)備選項(xiàng)、ren流及物流的通道。

無塵凈化工程潔凈度的主要因素：1、無塵凈化工程嚴(yán)格執(zhí)行無菌操作，防止微生物污染;操作人員進(jìn)入室內(nèi)前應(yīng)先關(guān)掉紫外燈。2、凈化工程應(yīng)設(shè)有無菌操作間和緩沖間，無菌操作間潔凈度應(yīng)達(dá)到10000級(jí)，室內(nèi)溫度保持在20-24℃，濕度保持在45-60%。超凈臺(tái)潔凈度應(yīng)達(dá)到100級(jí)。3、潔凈室應(yīng)保持清潔，嚴(yán)禁堆放雜物，以防污染。嚴(yán)防一切滅菌器材和培養(yǎng)基污染，已污染者應(yīng)停止使用。4、無塵凈化工程應(yīng)定期用適宜的消毒液滅菌清潔，以保證無菌室的潔凈度符合要求。

實(shí)驗(yàn)室潔凈度及壓力梯度：主實(shí)驗(yàn)室：面積為150m2，凈空高度為2.7m，規(guī)劃溫度（空調(diào)操控），規(guī)劃濕度（能夠思考添加抽濕機(jī)），潔凈等級(jí)為三十萬級(jí)—十萬級(jí)，換氣次數(shù)25次/小時(shí)，相對(duì)壓力為 10Pa，規(guī)劃送風(fēng)量900m3/h，過濾器送風(fēng)口的風(fēng)量為1000 m3/h。緩沖室：面積為2.9m2，凈空高度為2.7m，潔凈等級(jí)為十萬級(jí)，換氣次數(shù)15次/小時(shí)，相對(duì)壓力為 5Pa，規(guī)劃送風(fēng)量110m3/h，過濾器送風(fēng)口的風(fēng)量為500 m3/h。