旋片真空泵

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。虛漏主要是由于材料放氣、解吸、凝結(jié)氣體的再蒸發(fā)等原因引起的氣體壓力升高的現(xiàn)象，主要通過長時間的抽空將發(fā)出的氣體抽出系統(tǒng)外便可以正常使用和生產(chǎn)。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

真空檢漏設(shè)備真空檢漏設(shè)備

⑴真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。⑶真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。⑷正確地組合真空泵。⑸按電動機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對ya有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。⑸真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。⑹正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。⑺真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。⑻真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，hao能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。

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干式真空泵

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

干式真空泵主要有下列幾種形式:

雙圓裂片式

雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前l(fā)iu行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上，一些早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來。5溫升（℃）≤40進(jìn)氣口徑(mm)182540406580轉(zhuǎn)速(r/min)450590420用油量(L)0。這種多級設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一級都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時，為了達(dá)到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

三葉圓裂片式

三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達(dá)，但這也會導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣，三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。

組合式(羅茨 爪)

組合式(羅茨 爪)設(shè)計(jì)用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)完全相同。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。也有些廠家將其后一級改為星型設(shè)計(jì)，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計(jì)的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。

外部壓縮型螺桿式

在外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)中，使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到xiao，同時使得氣體通路短也簡單。深圳銳誠真空技術(shù)多年技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，為您解決后顧之憂，歡迎您撥打電話~~~。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時間也短。雖然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計(jì)使得其對氮?dú)庥昧康囊笠卜浅Ｐ《液唵?，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮?dú)狻?

內(nèi)部壓縮型螺桿式

除了使用一對非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。②真空檢漏法：指將管道和檢漏器的敏感元件處于真空狀態(tài)，在管道的外部施加示漏物質(zhì)，如果有漏孔，示漏物質(zhì)就會通過漏孔進(jìn)入被檢件和敏感元素空間，由敏感元件檢測出示漏物質(zhì)的方法。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。

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深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。如果您想要了解更多氦檢漏設(shè)備的知識，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

故障分類建議把故障分為運(yùn)轉(zhuǎn)故障和性能故障。

運(yùn)轉(zhuǎn)故障可包括泵不轉(zhuǎn)，泵溫太高，漏油，漏水，等。

性能故障可包括極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪聲、噴油，氣鎮(zhèn)性能等不達(dá)標(biāo)或不能滿足要求。折疊編輯本段故障判斷與診斷例舉1、泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵，以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。

A、泵能盤動而不轉(zhuǎn)。原因可以是聯(lián)軸器故障;皮帶打滑;電機(jī)接線有誤;電機(jī)損壞;電源沒電等。

B、不能盤動或盤起來很重的，原因可以是因?yàn)槠饎颖脺靥停糜驼扯忍?設(shè)計(jì)制造原因的停泵返油太多。真空檢漏設(shè)備真空檢漏設(shè)備真空的定義真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)真空度處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝結(jié)，或在排氣管中凝結(jié)的水流回泵中);有異物在泵內(nèi)(進(jìn)氣管中的焊渣、氧化物;旋片彈簧等泵零件的碎屑);旋片變形卡住;發(fā)生了咬合(銅套、轉(zhuǎn)子、中壁、泵蓋、定子、軸承)。

2、泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的gao油溫超過使用說明書規(guī)定值。真空檢漏設(shè)備真空檢漏設(shè)備真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，目前這些泵是我國國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降，并使用權(quán)泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵環(huán)境溫度太高，進(jìn)氣溫度太高，進(jìn)氣冷卻裝置失效，泵長期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)入中壓力太高;水冷泵冷卻水量不足，循環(huán)水設(shè)計(jì)效果不佳;溫控水量調(diào)節(jié)閥失效等。

3、漏油?？梢园l(fā)生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標(biāo)、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮(zhèn)閥(例如2X-8)等部位。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。可由密封件老化，安裝不當(dāng)，損壞失效，表面不平整、有雜質(zhì)、粗糙和鑄件疏松等引起。如果停泵后返油，油會進(jìn)入氣鎮(zhèn)閥，不關(guān)氣鎮(zhèn)閥可能會漏油。

自制橡膠墊時，一定要用耐油橡膠，要按照原設(shè)計(jì)形狀，密封面太大時壓不緊會漏油。

4、漏水。可以發(fā)生在水管頭，水套悶蓋平面，放水孔螺塞，放水閥等處，水套鉆穿，鑄件缺陷，凍裂，也可能導(dǎo)致漏水。

5、da功率超標(biāo)?？捎砷L期連續(xù)工作入口壓力太高、排氣壓力太高、雜物進(jìn)入發(fā)生咬合、泵溫太高、旋片等配合間隙太小、電壓太高、泵液返入泵內(nèi)太多等引起，會使電機(jī)損壞。應(yīng)盡量避免在da功率附近長期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。如果表面有沉積物，要定期拆開清除。

6、極限壓力不過標(biāo)?？捎赏饴?、內(nèi)漏、油孔堵塞、泵油質(zhì)量不良或污染變質(zhì)、有水汽等到可凝性物質(zhì)、儀器儀表失真、泵運(yùn)轉(zhuǎn)不正常等引起。

外漏較多時、排氣口可看白色蒸q。油標(biāo)處有較多氣泡，手在排氣口上感到排氣壓力。低級排氣閥處油面有較多氣泡。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。功率會有所增加。這時，首先應(yīng)檢查氣鎮(zhèn)閥是否已關(guān)好。由于新泵出廠每臺都在泵口測極限壓力，所以如有外漏現(xiàn)象，應(yīng)對泵口及管道、閥門、容器逐一檢查。外軸封失效、油杯無油、油孔悶頭漏氣也可造成外漏。內(nèi)漏可由泵內(nèi)的運(yùn)動間隙、排氣閥等平面、排氣閥的密封面、內(nèi)軸封、泵蓋平面、進(jìn)氣管、氣鎮(zhèn)閥密封件等引起磨損、腐蝕、咬合會使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙加大。油孔阻塞時，打開加油孔聽，泵的噪聲會較輕，在油箱密封良好的情況下，如果手在排氣口上有被吸的感覺，排氣閥可能失效。

如果泵油清潔，長期存放未用，可開氣鎮(zhèn)閥凈化泵內(nèi)水汽。若無效，要檢查儀表。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當(dāng)?shù)乃?。若泵油發(fā)黃發(fā)白已乳化，可全開氣鎮(zhèn)，調(diào)大氣鎮(zhèn)量凈化運(yùn)轉(zhuǎn)，必要時可在泵口放入適量氣體運(yùn)轉(zhuǎn)，可加快凈化過程。若抽入其他揮發(fā)性氣體或液體，要及時換油，必要時請洗油箱。有些泵，在級間氣道里會沉積泵液，為取得好的換油效果，要設(shè)法把沉積泵液排出。

極限壓力是用座式壓縮式shui銀真空計(jì)測量的。用經(jīng)校準(zhǔn)的熱偶真空計(jì)等全壓力計(jì)測量時，測得值會增加。注意熱偶真空計(jì)的規(guī)管要配對校準(zhǔn)。建議備用一只同時校準(zhǔn)的規(guī)管，以備懷疑規(guī)管污染失真時進(jìn)行對比。

極限壓力升高會使高真空時段的抽氣效率下降，也會使極限全壓力升高?？梢詤⒄丈鲜鼋榻B來判斷、檢查、處理抽氣效率下降和極限全壓力升高的故障。

7、噪聲。泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，電機(jī)與泵軸承的噪聲，旋片等運(yùn)動件是否滑暢、進(jìn)油量太多、風(fēng)扇、傳動件產(chǎn)生的噪聲、進(jìn)氣量大，開氣鎮(zhèn)運(yùn)轉(zhuǎn)、擋油板等泵內(nèi)零件松動，安裝不平等引起振動，都會影響泵的噪聲。

8、噴油。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。防止噴油用的油盒回油孔的大小、位置、密封狀況，擋油板的設(shè)計(jì)、安裝，排氣口部分的減霧器、擋油帽、油氣分離器，油位的高低，進(jìn)油量的大小，都會影響泵的噴油，泵口敞開油大氣時，直聯(lián)泵排氣口的氣流速度可以高達(dá)30M/S，吹開油面時，泵內(nèi)的循環(huán)油和氣流帶出的油就將考驗(yàn)防止噴油的各項(xiàng)措施。

9、其他，有些泵有油泵，有油分離器，有油路上的單向閥，有消霧器，有入口過濾器(防油蒸汽返流用)，有入口灰塵過濾器等部件或附件，也要進(jìn)行檢查。③粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。油泵失效將使泵的潤滑和密封失效，消霧器失效，有可能使排氣壓力升高，功率加大，損壞電機(jī)，入口過濾失效可使進(jìn)氣阻力增大，抽速下降，抽氣效率下降。

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真空設(shè)備檢漏

深圳銳誠——專業(yè)做真空設(shè)備檢漏維修供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?br />

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水壓法,對壓力容器或密封裝置進(jìn)行試驗(yàn)時，先將容器或密封裝置內(nèi)部裝滿水，再用水泵向里注水，觀察設(shè)備或密封裝置周圍有無水漏出。檢漏時必須耐心等待，直至水泄漏出來。因此，只能抽象地表示靈敏度的高低。⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。根據(jù)被檢物表面是否有水滲出，很容易判斷出泄漏點(diǎn)。但是，對于結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜的設(shè)備，肉眼可能無法直接觀察到泄漏點(diǎn)。只要水壓不變，泄漏率大小就不會發(fā)生很大變化，因而可以獲得較為一致的結(jié)果。當(dāng)然由于檢漏人員的觀測技巧不同，檢測結(jié)果也不會完全相同。除水泵外，水壓法檢漏無需大型、貴重設(shè)備，因而很經(jīng)濟(jì)。