超精密特種加工

要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設(shè)備控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進(jìn)行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。

從大到天體望遠(yuǎn)鏡的透鏡，小到大規(guī)模集成電路線寬μm要求的微細(xì)工程和微機(jī)械的微納米尺寸零件，不論體積大小，其高尺寸精度都趨近于納米;零件形狀也日益復(fù)雜化，各種非球面已是當(dāng)前非常典型的幾何形狀。微機(jī)械技術(shù)為超精密制造技術(shù)引來一種嶄新的態(tài)勢?它的微細(xì)程度使傳統(tǒng)的制造技術(shù)面臨一種新的挑戰(zhàn)，促進(jìn)了各種產(chǎn)品技術(shù)性能的提高，發(fā)展過程呈現(xiàn)出螺旋式循環(huán)發(fā)展，直接對科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和人類文明作出貢獻(xiàn)。對產(chǎn)品高質(zhì)量、小型化、高可靠性和的追求，使超精密加工技術(shù)得以迅速發(fā)展，現(xiàn)已成為現(xiàn)代制造工業(yè)的重要組成部分。

介紹下精密機(jī)械加工的原則：

純粹的基礎(chǔ)水平考慮的重點(diǎn)是如何減少誤差，提高精度，所以選擇本質(zhì)表面的基本原則是：

一：基準(zhǔn)重合原則。應(yīng)選擇盡可能的設(shè)計(jì)基準(zhǔn)作為定位基準(zhǔn)。特別是在后的完成,保證準(zhǔn)確性,更應(yīng)注意這一原則。這樣可以避免造成位置誤差基準(zhǔn)偏差;

二：基準(zhǔn)統(tǒng)一原則。應(yīng)選擇統(tǒng)一的定位基準(zhǔn)面的各種表面處理,盡量保證各表面間的位置精度;有時(shí)也遵循共同基準(zhǔn)的原則,反復(fù)加工;

三：自為基準(zhǔn)原則。一些小型機(jī)械加工余量和統(tǒng)一的精加工過程,確保加工質(zhì)量和生產(chǎn)率,與精密加工表面本身作為一個(gè)基礎(chǔ)水平。