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發(fā)布時間:2021-09-28 19:56  

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吸收法:利用吸收液與廢氣接觸,將廢氣中的有害物質溶解在吸收液中,凈化廢氣。吸收液另行處理。優(yōu)點:投資小,運行費用低,操作簡單。缺點:處理效率低,不穩(wěn)定,凈化效率低,約50%,難以滿足相關環(huán)境保護要求,適用于低濃度有機廢氣,有二次污染。(6)凝結法:通過凝結冷卻,溫度低于有害物質的凝結點時,氣體有害物質轉化為液體,從空氣中分離凈化。優(yōu)點:運行穩(wěn)定,凈化。缺點:投資大,對環(huán)境和操作人員要求高,能耗過大,運行費用高。

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VOCS調查提前程序中的常見問題和修改建議有哪些?'一廠一策'編制大綱一、企業(yè)概況應包括企業(yè)概況(即企業(yè)名稱、地址、所屬行業(yè)、投產時間、主要產品、生產規(guī)模、聯(lián)系方式等)、廠址布置(即主要生產設施和輔助設施的布置,如生產車間、生產線、污水處理站、冷卻水系統(tǒng)等)、危險化學品、原材料和成品的儲存和運輸?shù)龋⒏接袕S址布局圖和廠址平面布置圖)。生產工藝(一)生產工藝流程主要介紹企業(yè)的生產工藝流程及VOCs排放的主要環(huán)節(jié),附企業(yè)生產工藝流程圖及VOCs排放節(jié)點。




日常監(jiān)督方案1、建立企業(yè)VOCs管理賬戶,建立各企業(yè)VOCs相關信息管理賬戶,每年更新,VOCs管理設施應按廠家提供方法維護,填寫主要信息和維護記錄。例如,活性炭吸附脫附裝置應提供活性炭更換頻率和處理方式等,燃燒法VOCs管理裝置應提供燃料、燃燒溫度等燃燒條件。2、企業(yè)VOCs排放自我調查方案各企業(yè)應提出VOCs排放環(huán)節(jié)和管理設施自我調查方案。有機化工行業(yè)應加強冷卻塔、閥門、法蘭、泵和壓縮封、泄壓設備等設備的檢查和維護,建立泄漏修復技術(LDAR),制定泄漏修復計劃。



有機廢氣主要來源于光刻、顯影、蝕刻和擴散等工序,在這些工序中用有機溶液(如)清洗晶片表面,揮發(fā)產生的廢氣是有機廢氣的來源之一:同時,在光刻、蝕刻等過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發(fā)的,如醋酸丁酯等有毒廢氣主要來源于晶體外延、干法蝕刻和CVD等工序,在這些工序中應用(SiH4)、磷烷(PH3)、四氟化碳(CF4)、、三氯化硼等多種高純度特殊氣體處理晶體,部分特殊氣體具有性、窒息性和腐蝕性。