磁控濺射鍍膜機(jī)技術(shù)原理

真空磁控濺射鍍膜技術(shù)是通過(guò)真空磁控濺射鍍膜機(jī)實(shí)現(xiàn)的，鍍膜機(jī)內(nèi)由不同級(jí)別的真空泵抽氣，在系統(tǒng)內(nèi)營(yíng)造出一個(gè)鍍膜所需的真空環(huán)境，真空度要達(dá)到鍍膜所需的本底真空，一般在（1~5）×10-8 Pa。這是因?yàn)榇趴貫R射法可以通過(guò)正交電磁場(chǎng)對(duì)電子的約束，增加了電子與氣體分子的碰撞概率，這樣不但降低了加在陰極上的電壓，而且提高了正離子對(duì)靶陰極的濺射速率，減少了電子轟擊基體的概率，從而降低了它的溫度，即具備了。在真空環(huán)境中向靶材（陰極）下充入工藝氣體氣（Ar），氣在外加電場(chǎng)（由直流或交流電源產(chǎn)生）作用下發(fā)生電離生成離子（Ar ），同時(shí)在電場(chǎng)E的作用下，離子加速飛向陰極靶并以高能量轟擊靶表面，使靶材產(chǎn)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子（或分子）沉積在PET基片上形成薄膜。同時(shí)被濺射出的二次電子在陰極暗區(qū)被加速，在飛向基片的過(guò)程中，落入設(shè)定的正交電磁場(chǎng)的電子阱中，直接被磁場(chǎng)的洛倫茲力束縛，使其在磁場(chǎng)B的洛倫茲力作用下，以旋輪線和螺旋線的復(fù)合形式在靶表面附近作回旋運(yùn)動(dòng)。電子e的運(yùn)動(dòng)被電磁場(chǎng)束縛在靠近靶表面的等離子區(qū)域內(nèi)，使其到達(dá)陽(yáng)極前的行程大大增長(zhǎng)，大大增加碰撞電離幾率，使得該區(qū)域內(nèi)氣體原子的離化率增加，轟擊靶材的高能Ar 離子增多，從而實(shí)現(xiàn)了磁控濺射高速沉積的特點(diǎn)。在運(yùn)用該機(jī)理開(kāi)發(fā)磁控膜的過(guò)程中，要注意以下幾個(gè)問(wèn)題：①保證整體工藝中各個(gè)環(huán)節(jié)的可靠性。具體包括靶材質(zhì)量、工藝氣體純度、原膜潔凈程度、原膜質(zhì)量等基礎(chǔ)因素，這一系列因素會(huì)對(duì)鍍膜產(chǎn)品的終質(zhì)量產(chǎn)生影響。②選擇合適的靶材。要建立的膜系是通過(guò)對(duì)陰極的前后順序布置實(shí)現(xiàn)的。③控制好各環(huán)節(jié)的工藝性能及參數(shù)。如適合的本底真空度、靶材適用的濺射功率、工藝氣體和反應(yīng)氣體用量與輸入均勻性、膜層厚度等?？傊挥锌刂坪靡陨细饕蛩兀拍軌虮ＷC所開(kāi)發(fā)的鍍膜PET具有穩(wěn)定的顏色、優(yōu)異的性能和耐久性。

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我國(guó)真空鍍膜機(jī)行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀和前景分析

當(dāng)前我國(guó)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)等傳統(tǒng)制造業(yè)產(chǎn)能過(guò)剩已經(jīng)顯現(xiàn)，倒逼效應(yīng)顯著，國(guó)家大力發(fā)展環(huán)保產(chǎn)業(yè)，對(duì)傳統(tǒng)電鍍行業(yè)予以取締或轉(zhuǎn)型或限產(chǎn)，這正是離子鍍膜行業(yè)發(fā)展的大好時(shí)機(jī)。ITO薄膜的制備方法很多,如噴涂、蒸發(fā)、射頻濺射和磁控濺射等。真空鍍膜的高性?xún)r(jià)比以及傳統(tǒng)電鍍對(duì)環(huán)境的污染迫使真空鍍膜成為了主流，各種類(lèi)型各種鍍膜工藝的真空鍍膜設(shè)備不斷增加。

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真空鍍膜機(jī)的未來(lái)發(fā)展策略

創(chuàng)世威納專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)、銷(xiāo)售真空鍍膜機(jī)，我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

1、目前實(shí)體經(jīng)濟(jì)走勢(shì)整體疲弱，復(fù)蘇充滿不確定性，經(jīng)濟(jì)處于繼續(xù)探底過(guò)程，真空鍍膜設(shè)備制造企業(yè)應(yīng)著力進(jìn)行產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級(jí)，重質(zhì)量、重服務(wù)明確市場(chǎng)定位，大力研發(fā)擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新產(chǎn)品新工藝，提高產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)水平。

2、依托信息化發(fā)展趨勢(shì)，堅(jiān)持“以信息化帶動(dòng)工業(yè)化，以工業(yè)化促進(jìn)信息化”，走出一條科技含量高、經(jīng)濟(jì)效益好、資源消耗低、環(huán)境污染少、人力資源優(yōu)勢(shì)得到充分發(fā)揮的新型工業(yè)化路子。

3、依托政府支持，大力加強(qiáng)與擁有行業(yè)先進(jìn)技術(shù)和工藝水平的科研院所、大型企業(yè)、高校合作，使得新品能迅速推向市場(chǎng)。

真空鍍膜技術(shù)及設(shè)備擁有十分廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域和發(fā)展前景。未來(lái)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)等制造業(yè)將以信息化融合為重1心，依靠技術(shù)進(jìn)步，更加注重技術(shù)能力積累，制造偏向服務(wù)型，向世界真空鍍膜設(shè)備行業(yè)等制造業(yè)價(jià)值鏈高1端挺進(jìn)。

磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)的特點(diǎn)

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(1)工件變形小 由于工件表面均勻覆蓋輝光，溫度一致性好，可以通過(guò)控制功率輸出來(lái)實(shí)現(xiàn)均勻升溫。另陰極濺射抵消了滲人元素引起的尺寸擴(kuò)一大

(2) 滲層的組織和結(jié)構(gòu)易于控制 通過(guò)調(diào)整工藝參數(shù)，可得到單相或多相的滲層組織

(3)工件無(wú)須附加清理 陰極濺射可以有效去除氧化膜，凈化工件表面，同時(shí)真空處理無(wú)新生氧化膜，這些都減少了附加設(shè)備和工時(shí)，降低了成本。

(4) 防滲方便 不需滲的地方可簡(jiǎn)單地遮蔽起來(lái)，對(duì)環(huán)境無(wú)公害，無(wú)污染，勞動(dòng)條件好。

(5) 經(jīng)濟(jì)效益高，能耗小 雖然初始設(shè)備投資較大，但工藝成本極低，是一種廉價(jià)的工程技術(shù)方法。此外，離子轟擊滲擴(kuò)技術(shù)易實(shí)現(xiàn)工藝過(guò)程或滲層質(zhì)量的計(jì)算機(jī)控制，質(zhì)量重復(fù)性好，可操作性強(qiáng)。